用于半导体系统维护的通用服务车技术方案

本发明专利技术涉及用于半导体系统维护的通用服务车。一种用于储藏衬底处理系统的部件的服务车，包括配置成储藏从衬底处理系统移除的传送板的第一侧。第一侧包括间隔开以保持传送板的相应上部的第一安装件和第二安装件。第一安装件和第二安装件中的每一个包括布置成保持传送板的上部的相应凹槽。第一侧还包括间隔开以邻接传送板的相应下部的第一缓冲件和第二缓冲件。第一缓冲件和第二缓冲件中的每一个布置成保持传送板的第一侧和下部之间的期望距离。服务车的第二侧包括抽屉或开口以提供进入服务车的内部的通路。

Universal service vehicle for semiconductor system maintenance

The present invention relates to a universal service vehicle for the maintenance of a semiconductor system. A service vehicle for storing components of a substrate processing system, including a first side configured to store a transport plate removed from a substrate processing system. The first side includes a first mount and a second mount spaced apart to maintain a corresponding upper portion of the transmission plate. Each of the first mounting member and the second mounting member includes a corresponding groove arranged to hold the upper portion of the transmission plate. The first side also includes a first buffer and a second buffer spaced apart to correspond to the lower portion of the transmission plate. Each of the first buffer and the second buffer is arranged to maintain a desired distance between the first side and the lower portion of the transmission plate. The second side of the service vehicle includes a drawer or opening to provide access to the interior of the service vehicle.

【技术实现步骤摘要】
用于半导体系统维护的通用服务车相关申请的交叉引用本申请要求于2016年2月15日提交的美国临时申请No.62/295,339的权益。上述申请的全部公开内容通过引用并入本文。
本公开涉及用于储藏和组织衬底处理系统的部件的系统和方法。
技术介绍
这里提供的背景描述是为了一般地呈现本公开的背景的目的。在该
技术介绍
部分以及在提交时不会以其他方式认为是现有技术的描述的方面中描述的程度上，目前署名的专利技术人的工作既不明确地也不隐含地被承认为针对本公开的现有技术。衬底处理系统可用于执行诸如半导体晶片的衬底的蚀刻、沉积、清洁和/或其它处理。可以在衬底上执行的示例工艺包括(但不限于)等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺、原子层沉积(ALD)工艺、化学增强等离子体气相沉积(CEPVD)工艺、溅射物理气相沉积(PVD)工艺、离子注入工艺和/或其它蚀刻(例如，化学蚀刻、等离子体蚀刻、反应离子蚀刻等)、沉积和清洁。衬底可以布置在诸如衬底处理系统的处理室中的基座之类的衬底支撑件上。仅作为示例，在沉积期间，将包括一种或多种前体的气体混合物引入到处理室中，并且激励等离子体以在衬底上沉积膜。
技术实现思路
一种用于储藏衬底处理系统的部件的服务车，包括被配置为储藏从衬底处理系统移除的传送板的第一侧。所述第一侧包括第一安装件和第二安装件。所述第一安装件和第二安装件间隔开以保持传送板的相应上部，并且所述第一安装件和第二安装件中的每一个包括布置成保持传送板的上部的相应凹槽。所述第一侧还包括第一缓冲件和第二缓冲件。所述第一缓冲件和第二缓冲件间隔开以邻接传送板的相应下部，并且第一缓冲件和第二缓冲件中的每一个布置成保持传送板的第一侧和下部之间的期望距离。所述服务车包括第二侧，该第二侧包括抽屉和开口中的至少一个，以提供通向服务车内部的通路。具体而言，本专利技术的一些方面可以阐述如下：1.一种用于储藏衬底处理系统的部件的服务车，所述服务车包括：第一侧，其被配置为储藏从所述衬底处理系统移除的传送板，其中所述第一侧包括第一安装件和第二安装件，其中所述第一安装件和所述第二安装件间隔开以保持所述传送板的相应上部，并且其中所述第一安装件和所述第二安装件中的每一个包括相应的槽，所述槽布置成保持所述传送板的上部，和第一缓冲件和第二缓冲件，其中所述第一缓冲件和所述第二缓冲件间隔开以邻接所述传送板的相应下部，并且其中所述第一缓冲件和所述第二缓冲件中的每一个布置成保持所述传送板的所述第一侧和所述下部之间的期望距离；和第二侧，包括抽屉和开口中的至少一个，以提供对所述服务车的内部的访问。2.根据条款1所述的服务车，其中所述服务车的所述内部包括用于所述衬底处理系统的承载环的储藏室。3.根据条款2所述的服务车，其中用于所述承载环的所述储藏室包括至少一对横档，所述至少一对横档布置成通过所述服务车的所述第二侧中的所述开口接纳所述承载环。4.根据条款3所述的服务车，其中，所述至少一对横档包括布置成接触所述承载环的衬垫。5.根据条款3所述的服务车，其中用于所述承载环的所述储藏室包括布置成将所述承载环保持在所述至少一对横档上的阻挡物。6.根据条款1所述的服务车，其中所述抽屉被构造成储藏与维修湿式清洁优化(WCO)沉积衬底处理系统相关联的工具。7.根据条款6所述的服务车，其中所述抽屉包括具有对应于所述工具的相应形状的切口。8.根据条款7所述的服务车，其中所述切口包括对应于所述衬底处理系统的最小接触面积(MCA)特征的切口。9.根据条款1所述的服务车，其中所述开口被构造成接纳前开式统集盒(FOUP)。10.根据条款1所述的服务车，其中所述第二侧包括所述抽屉、用于在所述抽屉下方的开口中布置的承载环的储藏室、以及用于在所述承载环的所述储藏室下方的开口中的前开式统集盒的储藏室。11.根据条款10所述的服务车，其中所述第二侧包括门，所述门布置成选择性地关闭所述第二侧中的所述开口。12.根据条款11所述的服务车，其中所述第二侧包括邻近所述抽屉的第一侧布置的铰接闩锁；所述铰接闩锁在所述抽屉下方延伸到所述开口的上部；所述铰接闩锁具有打开位置和关闭位置；当所述铰接闩锁处于所述打开位置并且所述门被关闭时，所述铰接闩锁不妨碍所述抽屉被打开；和当所述铰接闩锁处于所述关闭位置并且所述门被关闭时，所述门捕获延伸到所述开口的所述上部中的所述铰接闩锁，并且所述铰接闩锁防止所述抽屉被打开。根据详细描述、权利要求和附图，本公开的其它应用领域将变得显而易见。详细描述和具体示例仅意图用于说明的目的，并且不旨在限制本公开的范围。附图说明从详细描述和附图将更充分地理解本公开，其中：图1A-1H示出了根据本公开的原理的一个示例性服务车；图2A-2C示出了根据本公开原理的另一示例性服务车；和图3示出了根据本公开的原理的一个示例性承载环储藏室；图4A-4C示出根据本公开的原理安装在服务车上的一个示例性传送板；图5A-5F示出了根据本公开的原理的一个示例性传送板安装件；图6A-6C示出了根据本公开的原理的另一示例性传送板安装件；图7A-7C示出了根据本公开的原理的另一示例性传送板安装件；图8示出了根据本公开的原理的一个示例抽屉闩锁；图9示出了根据本公开的原理的一个示例性工具托盘；图10示出了根据本公开的原理的另一示例服务车；图11示出了根据本公开的原理的另一示例服务车；和图12示出了根据本公开的原理的另一示例服务车；在附图中，附图标记可以重复使用以标识类似和/或相同的元件。具体实施方式衬底处理系统通常需要定期维修，包括清洁、维护等。清洁和维护可包括拆卸和重新组装衬底处理系统的各种部件，以及临时储藏从衬底处理系统移除的部件。部件包括(但不限于)工艺关键部件，所述工艺关键部件可能是易损坏的、大的、笨重的或不规则形状(例如，衬底处理系统的传送板)的部件、以及具有大范围的尺寸和储藏要求的部件。根据本公开的原理的系统和方法提供了被配置为储藏与维修衬底处理系统相关的工具和其他物品的服务车。例如，服务车可以被配置为专门用于维修湿式清洁优化(WCO)沉积衬底处理系统或工具。服务车为与特定衬底处理系统的清洁、维护等相关联的所有部件和工具提供储藏，包括用于储藏在维修期间从系统移除的部件。在一些示例中，服务车的不同侧提供对不同储藏隔间和/或工具的获取(access)。例如，服务车的第一侧可以提供对与服务或清洁步骤相关联的工具(例如，布置在第一侧上的一组工具抽屉)的获取，而与第一侧相对或相邻的第二侧可以提供到其他储藏的工具和部件的获取。以这种方式，服务车允许获取各种部件和工具而不中断使用工具在服务车的另一侧(服务车的工作表面等)上执行的维修。服务车的内部包括用于衬底处理系统的承载环(例如，陶瓷承载环)和MCA(最小接触面积)特征的保护性储藏，以及用于诸如校准前开式统集盒(FOUP)之类的较大物品的储藏。服务车可以包括支撑WCO平板的安装件和用于提供平板的充电的充电接口。通常，某些类型的衬底处理系统的传送板是大的、不规则形状的铝板。服务车的一侧或多侧包括用于储藏和维修传送板的安装件。每个工具抽屉可以包括被配置为储藏相应工具的一个或多个切口。工具抽屉被构造成处于锁定或解锁状态，并且可以在进入车的内部的门被锁定时解锁。因此，可以在不打开门的情况下获取工具抽屉。服本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于储藏衬底处理系统的部件的服务车，所述服务车包括：第一侧，其被配置为储藏从所述衬底处理系统移除的传送板，其中所述第一侧包括第一安装件和第二安装件，其中所述第一安装件和所述第二安装件间隔开以保持所述传送板的相应上部，并且其中所述第一安装件和所述第二安装件中的每一个包括相应的槽，所述槽布置成保持所述传送板的上部，和第一缓冲件和第二缓冲件，其中所述第一缓冲件和所述第二缓冲件间隔开以邻接所述传送板的相应下部，并且其中所述第一缓冲件和所述第二缓冲件中的每一个布置成保持所述传送板的所述第一侧和所述下部之间的期望距离；和第二侧，包括抽屉和开口中的至少一个，以提供对所述服务车的内部的访问。

【技术特征摘要】
2016.02.15 US 62/295,339;2016.08.11 US 15/234,6451.一种用于储藏衬底处理系统的部件的服务车，所述服务车包括：第一侧，其被配置为储藏从所述衬底处理系统移除的传送板，其中所述第一侧包括第一安装件和第二安装件，其中所述第一安装件和所述第二安装件间隔开以保持所述传送板的相应上部，并且其中所述第一安装件和所述第二安装件中的每一个包括相应的槽，所述槽布置成保持所述传送板的上部，和第一缓冲件和第二缓冲件，其中所述第一缓冲件和所述第二缓冲件间隔开以邻接所述传送板的相应下部，并且其中所述第一缓冲件和所述第二缓冲件中的每一个布置成保持所述传送板的所述第一侧和所述下部之间的期望距离；和第二侧，包括抽屉和开口中的至少一个，以提供对所述服务车的内部的访问。2.根据权利要求1所述的服务车，其中所述服务车的所述内部包括用于所述衬底处理系统的承载环的储藏室。3.根据权利要求2所述的服务车，其中用于所述承载环的所述储藏室包括至少一对横档，所述至少一对横档布置成通过所述服务车的所述第二侧中的所述开口接纳所述承载环。4.根据权利要求3所述的服务...

【专利技术属性】
技术研发人员：特伦斯·乔治·伯尼尔，约瑟夫·卫，托尼·纽伦，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：美国,US