The invention discloses a vacuum for Superconducting Proton Accelerator sealing film testing device, including vacuum window, vacuum chamber, vacuum gauge, pressure relief valve, gate valve, angle of molecular pump; the vacuum window is located in the vacuum chamber at one end; the flashboard valve is located in the other end of the vacuum chamber; the vacuum gauge the pressure relief valve, angle and mechanical pump interface pipeline with the vacuum cavity in the middle; the molecular pump installed in the valve plate; the mechanical interface with the mechanical pump pump connection. The invention uses mechanical pump and molecular pump to provide transport vacuum transport line in the pipeline, used to test the accelerator transport line vacuum window and window film thickness can meet the application requirements, to ensure that the accelerator transport line vacuum window design is reasonable and reliable selection of window film thickness.
【技术实现步骤摘要】
一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置
本专利技术属于超导质子加速器输运线管路密封测试领域,具体涉及一种用于测试加速器输运线真空窗及窗膜性能的测试装置。
技术介绍
在超导质子加速器的粒子传输领域,尤其是用于质子和重离子治疗的粒子传输
目前市场存在真空密封膜测试装置,只能进行低真空度测试,适用的真空度范围达不到超导质子加速器输运线管路真空度要求。为确保加速器输运线真空窗的合理设计及窗膜厚度的合理选择。因此设计一种用于测试加速器输运线真空窗测试装置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于测试加速器输运线真空窗和窗膜性能的测试装置,该装置利用机械泵和分子泵组合,分级对真空腔抽真空(利用机械泵将真空腔抽成粗真空,而后利用分子泵将真空腔抽成高真空),直到真空腔达到超导质子加速器输运线真空管路内的真空标准,以此来测试输运线真空窗及窗膜的性能。本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现:一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置,包括真空窗、真空腔、真空计、泄压角阀、插板阀、分子泵;所述真空窗位于真空腔一端部;所述插板阀位于真空腔另一端部;所述真空腔中间的管道上设有真空计、泄压角阀以及机械泵接口;所述分子泵安装在插板阀上;所述机械泵接口与机械泵连接。所述真空腔放置于机架顶部的V型块槽内,并通过V型块压环固定。所述真空窗和真空腔的快卸法兰端对接,对接口内部添加内密封圈一,对接口外部使用链式法兰卡箍固定。所述泄压角阀位于真空腔中部小法兰水平位置;所述真空计位于真空腔中部小法兰竖直位置;泄压角阀与真空计均通过卡箍一和内密封圈二固定在真空腔上。所述插板阀位于 ...
【技术保护点】
一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置,其特征在于,包括真空窗(3)、真空腔(4)、真空计(8)、泄压角阀(6)、插板阀(9)、分子泵(10);所述真空窗(3)位于真空腔(4)一端部;所述插板阀(9)位于真空腔(4)另一端部;所述真空腔(4)中间的管道上设有真空计(8)、泄压角阀(6)以及机械泵接口;所述分子泵(10)安装在插板阀(9)上;所述机械泵接口与机械泵连接。
【技术特征摘要】
1.一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置,其特征在于,包括真空窗(3)、真空腔(4)、真空计(8)、泄压角阀(6)、插板阀(9)、分子泵(10);所述真空窗(3)位于真空腔(4)一端部;所述插板阀(9)位于真空腔(4)另一端部;所述真空腔(4)中间的管道上设有真空计(8)、泄压角阀(6)以及机械泵接口;所述分子泵(10)安装在插板阀(9)上;所述机械泵接口与机械泵连接。2.根据权利要求1所述的真空密封膜测试装置,其特征在于,所述真空腔(4)放置于机架(1)顶部的V型块槽内,并通过V型块压环固定。3.根据权利要求1所述的真空密封膜测试装置,其特征在于,所述真空窗(3)和真空腔(4)的快卸法兰端对接,对接口内部添加内密封圈一(5),对接口外部使用链式法兰卡箍(2)固定。4.根据权利要求1所述的真空密封膜测试装置,其特征在于,所述泄压角阀(6)位于真空腔(4)中部小法兰水平位置;所述真空计(8)位于真空腔(4)中部小法兰竖直位置;泄压角阀(6)与真空计(8)均通过卡箍一(7)和内密封圈二(12)固定在真空腔(4)上。5.根据权利要求1所述的真空密封膜测试装置,其特征在于,所述插板阀(9)位于真空腔(4)的CF法兰端,通过CF铜垫密封圈(11)和螺钉固定在真空腔(...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋云涛,郑金星,朱雷,张午权,沈俊松,曾宪虎,刘海洋,谷鹏飞,李明,韩曼芬,
申请(专利权)人:合肥中科离子医学技术装备有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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