下载一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置的技术资料

文档序号:16062443

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本发明公开了一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置,包括真空窗、真空腔、真空计、泄压角阀、插板阀、分子泵;所述真空窗位于真空腔一端部;所述插板阀位于真空腔另一端部;所述真空腔中间的管道上设有真空计、泄压角阀以及机械泵接口;所述分子泵安...
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