离子过滤器以及其制造方法技术

本发明专利技术涉及离子过滤器以及其制造方法。构成为具有绝缘性基材(11)、形成在绝缘性基材(11)的一个主面上的第一导电层(12)、形成在绝缘性基材(11)的另一主面上的第二导电层(13)、和沿着绝缘性基材(11)的厚度方向所形成的多个贯通孔30，并使第一导电层(12)的第一厚度(th1)和第二导电层(13)的第二厚度(th2)不同。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】离子过滤器以及其制造方法
本专利技术涉及使用于电子放大器的离子过滤器以及其制造方法。关于承认通过参照文献而引用的指定国，将2014年9月17日在日本申请的日本特愿2014－189317号所记载的内容通过参照而引入本说明书，并作为本说明书的记载的一部分。
技术介绍
已知一种具备电子放大膜的气体电子放大器(专利文献1)。专利文献1:日本特开2007－234485号公报这种气体电子放大器使检测对象的放射线入射，使用具备许多的贯通孔的电子放大膜，利用电子雪崩效应使因放射线与气体的光电效应而产生的相互作用而从气体原子飞出的电子放大，对其电信号进行检测。在使电子放大时，产生与放大的电子数目相同的阳离子。因电子放大膜的贯通孔内部的电场的影响，阳离子向与电子的移动方向相反方向行进。另外，由于质量相对较大的阳离子的移动速度比电子的移动速度慢，所以存在气体电子放大器的内部中以取决于电子放大膜的形状的形状(例如平板状)集中而滞留，生成电场的情况。由于因阳离子而形成的电场使测量的电子的移动方向发生变化，所以产生给时间投影室(TPC：TimeProjectionChamber)等气体检测器的检测精度带来影响的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子过滤器，是使用于电子放大器的离子过滤器，具有：绝缘性基材；第一导电层，形成在上述绝缘性基材的一个主面上；第二导电层，形成在上述绝缘性基材的另一主面上；以及多个贯通孔，沿着上述绝缘性基材的厚度方向而形成，上述第一导电层的第一厚度和上述第二导电层的第二厚度不同。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.17 JP 2014-1893171.一种离子过滤器，是使用于电子放大器的离子过滤器，具有：绝缘性基材；第一导电层，形成在上述绝缘性基材的一个主面上；第二导电层，形成在上述绝缘性基材的另一主面上；以及多个贯通孔，沿着上述绝缘性基材的厚度方向而形成，上述第一导电层的第一厚度和上述第二导电层的第二厚度不同。2.根据权利要求1所述的离子过滤器，其中，上述绝缘性基材的一个主面被配置于上述电子放大器中的电子的移动方向的下游侧，上述绝缘性基材的另一主面被配置于上述电子放大器中的电子的移动方向的上游侧，形成在上述绝缘性基材的一个主面上的上述第一导电层的上述第一厚度比上述第二导电层的上述第二厚度厚。3.根据权利要求1或者2所述的离子过滤器，其中，上述离子过滤器与上述电子放大器具备的电子放大膜配合设置，上述绝缘性基材的一个主面被配置于上述电子放大膜侧，形成在该一个主面上的上述第一导电层的上述第一厚度比形成在上述另一主面上的上述第二导电层的上述第二厚度厚。4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的离子过滤器，其中，上述第一导电层的表面部由第一材料形成，上述第二导电层的表面部由与第一材料不同的第二材料形成。5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的离子过滤器，其中，上述第一导电层的上述第一厚度为上述第二导电层的上述第二厚度的30...

【专利技术属性】
技术研发人员：荒井大辅，
申请(专利权)人：株式会社藤仓，
类型：发明
国别省市：日本,JP