扫描型探针显微镜制造技术

提供一种扫描型探针显微镜，能够排除振动干扰的影响，正确并高分辨率地获得样品S的表面信息，扫描型探针显微镜(1)构成为具备主体部(10)与控制部(30)，所述主体部(10)具有：悬臂(21)，具有探针(21a)；传感器(23)，检测悬臂(21)的位移；XYZ驱动机构(25)，使悬臂(21)或者样品S移动；除振机构(12)，所述控制部(30)控制XYZ驱动机构(25)并且获取样品S的测量范围的表面信息，所述扫描型探针显微镜(1)还具备：无线支架(60)，具有供电线圈(63)与支架侧收发部(64)；电源信号缆线(42)，连接无线支架(60)与控制部(30)，主体部(10)具有：高电压发生电路(15)，用于驱动XYZ驱动机构(25)；受电线圈(13)；主体部侧收发部(14)，用于与支架侧收发部(64)通信。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】扫描型探针显微镜
本专利技术涉及基于样品表面与探针(Probe)的相互作用而获取样品的表面信息的扫描型探针显微镜，特别是涉及获取样品的测量范围的表面信息的扫描型探针显微镜。
技术介绍
在扫描型探针显微镜中，在X方向或Y方向或Z方向上使用扫描仪(XYZ驱动机构)等，一边使形成于悬臂的自由端部的探针相对于样品移动，或者使样品相对于形成于悬臂的自由端部的探针移动，一边检测作用于探针与样品表面之间的相互作用(探针的位移量或共振频率的变化量)，基于其检测出的信息而高分辨率地制作样品的测量范围的表面形状(表面信息)。原子力显微镜(AFM)，使由悬臂等支撑的探针接近样品表面，由此测量在探针前端的原子与样品表面的原子之间产生的微小的原子力，利用原子力由探针与样品的距离毫无疑义地确定这一性质，一边沿着样品表面扫描，一边以该原子力变为恒定的方式调整探针与样品之间的距离，通过探针或者样品的高度方向的轨迹测量样品表面的凹凸形状。此外，扫描型隧道显微镜(STM)在样品与与其对置配置的探针之间施加电压，以在两者间流动的隧道电流变为恒定的方式对探针或者样品进行扫描，由此利用原子级别的分辨率观察样品表面的形状。即，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描型探针显微镜，具备主体部与控制部，所述主体部具有：悬臂，在自由端部具有探针；传感器，检测所述悬臂的自由端部的位移；XYZ驱动机构，使所述悬臂或者样品在XYZ方向上移动；除振机构，用于除去振动，所述控制部对所述XYZ驱动机构进行控制并且获取所述样品的测量范围的表面信息，所述扫描型探针显微镜具备：无线支架，具有供电线圈与支架侧收发部；电源信号缆线，连接所述无线支架与所述控制部，所述主体部具有：高电压发生电路，生成用于驱动所述XYZ驱动机构的高电压信号；受电线圈，用于被从所述供电线圈供电；主体部侧收发部，用于与所述支架侧收发部通信。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种扫描型探针显微镜，具备主体部与控制部，所述主体部具有：悬臂，在自由端部具有探针；传感器，检测所述悬臂的自由端部的位移；XYZ驱动机构，使所述悬臂或者样品在XYZ方向上移动；除振机构，用于除去振动，所述控制部对所述XYZ驱动机构进行控制并且获取所述样品的测量范围的表面信息，所述扫描型探针显微镜具备：无线支架，具有供电线圈与支架侧收发部；电源信号缆线，连接所述无线支架与所述控制部，所述主体部具有：高电压发生电路，生成用于驱动所述XYZ...

【专利技术属性】
技术研发人员：池田雄一郎，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP