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提供一种扫描型探针显微镜，能够排除振动干扰的影响，正确并高分辨率地获得样品S的表面信息，扫描型探针显微镜(1)构成为具备主体部(10)与控制部(30)，所述主体部(10)具有：悬臂(21)，具有探针(21a)；传感器(23)，检测悬臂(21...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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