玻璃基板的制造方法及板状的玻璃技术

本发明专利技术的玻璃基板的制造方法具备：(I)在板状的玻璃(10)形成贯通孔(11)的工序、(II)使用对规定的波长λ1的光具有感光性的树脂组合物在板状的玻璃(10)的一个主面形成树脂层(20)的工序、(III)从板状的玻璃(10)的另一主面侧照射包含波长λ1的光U而使覆盖树脂层(20)的贯通孔(11)的部分感光的工序、和(IV)将在工序(III)中感光后的部分除去而形成树脂贯通孔(21)的工序。板状的玻璃(10)在工序(III)中以使树脂层(20)不被入射至板状的玻璃(10)的另一主面的光U感光的方式保护树脂层(20)免受光U影响。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃基板的制造方法及板状的玻璃
本专利技术涉及玻璃基板的制造方法及供于玻璃基板的制造方法的板状的玻璃。
技术介绍
以往，例如，作为LSI(Large－ScaleIntegration)的安装技术，已知如非专利文献1所记载那样使用硅贯穿电极(TSV：ThroughSiliconVia)的安装技术。具有贯穿电极的硅基板例如被广泛用作内插器(interposer)。内插器为对布线的设计规则分别不同的、如IC(IntegratedCircuit)及印刷基板那样端子间距离不同的基板彼此进行转接的基板。就TSV技术而言，除硅基板价格高价外，还由于硅为半导体而需要在硅基板形成贯通孔之前进行绝缘处理，因此具有成本高的问题。为此，例如，为了降低内插器的制造成本，而使在廉价的玻璃上形成有玻璃贯穿电极(TGV：ThroughGlassVia)的玻璃基板受到注目。在TGV技术中，需要在玻璃基板上形成贯通孔。作为在玻璃基板上形成贯通孔的技术，例如已知如专利文献1所记载那样通过脉冲振荡YAG激光的照射而形成贯穿孔的技术。另外，在专利文献2中记载了在感光性玻璃基板形成微细孔的方法。在专利文献2所记载的方法中，在感光性玻璃基板上的规定位置配置光掩模，照射紫外线，形成潜影。接着，对感光性玻璃基板进行加热处理而使潜影结晶化。接着，在形成有潜影的部分的中央通过激光形成比潜影小的加工目标孔。接着，利用氢氟酸进行蚀刻。由此，结晶化的部分被选择性地蚀刻而形成孔。专利文献3中记载了利用相对置的同一轴心上的上下一对空心钻从板玻璃的双面对板玻璃穿孔的方法。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000－061667号公报专利文献2：日本特开2001-105398号公报专利文献3：日本特开昭54－126215号公报非专利文献非专利文献1：吉永孝司及野村稔、“用于三维LSI安装的TSV技术的研究开发动向”、科学技术动向、科学技术·学术政策研究所、2010年4月号、No.109、p.23－34
技术实现思路
专利技术要解决的课题形成有贯通孔的玻璃基板具有机械强度低且在加工时不易处理的问题。为此，本专利技术的目的在于提供制造形成贯通孔且具有高机械强度的玻璃基板的方法。用于解决课题的手段本专利技术提供一种玻璃基板的制造方法，其具备：(I)在板状的玻璃上形成贯通孔的工序、(II)使用对波长120nm～300nm的范围内的规定的波长λ1的光具有感光性的树脂组合物以覆盖上述贯通孔的方式在上述板状的玻璃的一个主面上形成树脂层的工序、(III)从上述板状的玻璃的另一主面侧照射包含上述波长λ1的光U而使覆盖上述树脂层的上述贯通孔的部分感光的工序、和(IV)将上述树脂层的在工序(III)中感光后的部分除去而形成贯穿上述树脂层的树脂贯通孔的工序，所述板状的玻璃在上述波长λ1下的光透射率为1％以下、并且在上述工序(III)中以使上述树脂层不被入射至上述板状的玻璃的上述另一主面的上述光U感光的方式保护上述树脂层免受上述光U影响。另外，本专利技术还提供一种板状的玻璃，其是供于上述的玻璃基板的制造方法的板状的玻璃，上述的玻璃基板的制造方法中，上述工序(I)具备：(I－a)通过对上述板状的玻璃照射激光而在上述板状的玻璃的照射过激光的部分形成变质部的工序；和(I－b)通过使用对上述变质部的蚀刻速率比对上述板状的玻璃的未形成上述变质部的部分的蚀刻速率大的蚀刻液对至少上述变质部进行蚀刻，从而在上述板状的玻璃上形成上述贯通孔的工序，上述激光具有波长250nm～535nm的范围内的特定的波长λ2，该板状的玻璃在上述波长λ1下的光透射率为1％以下、且对上述波长λ2的光的吸收系数为50cm－1以下，在使用上述树脂组合物在该板状的玻璃的一个主面形成树脂层后从该板状的玻璃的另一主面侧照射包含上述波长λ1的上述光U时，该板状的玻璃以使上述树脂层不被入射至该板状的玻璃的上述另一主面的上述光U感光的方式保护上述树脂层免受上述光U影响。专利技术效果根据本专利技术，在形成有贯通孔的板状的玻璃的一个主面上形成树脂层，因此所制造的玻璃基板具有高机械强度。因此，利用本专利技术的方法制造的玻璃基板在加工时容易处理。附图说明图1为表示第1实施方式的玻璃基板的制造方法的工序的剖视图图2为表示第2实施方式的玻璃基板的制造方法的工序的一部分的剖视图图3为表示继图2所示的工序后的玻璃基板的制造方法的工序的剖视图图4为表示利用第2实施方式的制造方法制造的玻璃基板的使用例的剖视图图5为表示第3实施方式的玻璃基板的制造方法的工序的剖视图图6为表示利用第3实施方式的制造方法制造的玻璃基板的使用例的剖视图具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。予以说明，以下的说明涉及本专利技术的一例，本专利技术不受这些例子的限定。＜第1实施方式＞第1实施方式的玻璃基板的制造方法具备工序(I)、工序(II)、工序(III)及工序(IV)。为了工序(I)，如图1的(a)所示，准备板状的玻璃10。如图1的(b)所示，工序(I)为在板状的玻璃10上形成贯通孔11的工序。如图1的(e)所示，工序(II)为使用对波长120nm～300nm的范围内的规定的波长λ1的光具有感光性的树脂组合物以覆盖贯通孔11的方式在板状的玻璃10的一个主面上形成树脂层20的工序。如图1的(f)所示，工序(III)为从板状的玻璃10的另一主面侧照射包含波长λ1的光U而使覆盖树脂层20的贯通孔11的部分感光的工序。如图1的(g)所示，工序(IV)为将树脂层20的在工序(III)中感光后的部分除去而形成贯穿树脂层20的树脂贯通孔21的工序。为了工序(I)而准备的板状的玻璃10在波长λ1下的光的透射率为1％以下。板状的玻璃10在波长λ1下的光的透射率越小越优选。另外，板状的玻璃10在工序(III)中以使树脂层20不被入射至板状的玻璃10的另一主面的光U感光的方式保护树脂层20免受光U影响。即，在使用对波长λ1的光具有感光性的树脂组合物在板状的玻璃10的一个主面形成树脂层20后从板状的玻璃10的另一主面侧照射包含波长λ1的光U时，板状的玻璃10以使树脂层20不被入射至板状的玻璃10的另一主面的光U感光的方式保护树脂层20免受上述光U影响。板状的玻璃10只要具有此种特性，则并无特别限定。作为板状的玻璃10，可优选使用硼硅酸盐玻璃、铝硅酸盐玻璃、钠钙玻璃、含钛硅酸盐玻璃或无碱玻璃。另外，也可以通过涂敷等表面处理对板状的玻璃10赋予此种特性。在板状的玻璃10为硼硅酸盐玻璃的情况下，可以使用康宁公司的#7059或Pyrex(注册商标)。在板状的玻璃10为铝硅酸盐玻璃的情况下，可以使用具有如下组成的玻璃组合物。具有以质量％来计为SiO258～66％、Al2O313～19％、Li2O3～4.5％、Na2O6～13％、K2O0～5％、R2O10～18％(其中，R2O＝Li2O+Na2O+K2O)、MgO0～3.5％、CaO1～7％、SrO0～2％、BaO0～2％、RO2～10％(其中，RO＝MgO+CaO+SrO+BaO)、TiO20～2％、CeO20～2％、Fe2O30～2％、MnO0～1％(其中，TiO2+CeO2+Fe2O3+MnO＝0.01～3％)、SO30.05～0.5％的组成的玻璃组合物。另外，也可以使用具有如下组本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板的制造方法，其具备：(I)在板状的玻璃上形成贯通孔的工序；(II)使用对波长120nm～300nm的范围内的规定的波长λ1的光具有感光性的树脂组合物以覆盖所述贯通孔的方式在所述板状的玻璃的一个主面上形成树脂层的工序；(III)从所述板状的玻璃的另一主面侧照射包含所述波长λ1的光U而使覆盖所述树脂层的所述贯通孔的部分感光的工序；和(IV)将所述树脂层的在工序(III)中感光后的部分除去而形成贯穿所述树脂层的树脂贯通孔的工序，所述板状的玻璃在所述波长λ1下的光透射率为1％以下、并且在所述工序(III)中以使所述树脂层不被入射至所述板状的玻璃的所述另一主面的所述光U感光的方式保护所述树脂层免受所述光U影响。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.22 JP 2014-2152471.一种玻璃基板的制造方法，其具备：(I)在板状的玻璃上形成贯通孔的工序；(II)使用对波长120nm～300nm的范围内的规定的波长λ1的光具有感光性的树脂组合物以覆盖所述贯通孔的方式在所述板状的玻璃的一个主面上形成树脂层的工序；(III)从所述板状的玻璃的另一主面侧照射包含所述波长λ1的光U而使覆盖所述树脂层的所述贯通孔的部分感光的工序；和(IV)将所述树脂层的在工序(III)中感光后的部分除去而形成贯穿所述树脂层的树脂贯通孔的工序，所述板状的玻璃在所述波长λ1下的光透射率为1％以下、并且在所述工序(III)中以使所述树脂层不被入射至所述板状的玻璃的所述另一主面的所述光U感光的方式保护所述树脂层免受所述光U影响。2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述工序(I)具备：(I－a)通过对所述板状的玻璃照射激光而在所述板状的玻璃的照射过激光的部分形成变质部的工序；和(I－b)通过使用对所述变质部的蚀刻速率比对所述板状的玻璃的未形成所述变质部的部分的蚀刻速率大的蚀刻液对至少所述变质部进行蚀刻，从而在所述板状的玻璃上形成所述贯通孔的工序。3.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述激光具有波长250nm～535nm的范围内的规定的波长λ2。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：常友启司，桥爪秀树，大川和哉，
申请(专利权)人：日本板硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP