减小烧蚀表面上的衍射效应制造技术

技术编号:16045313 阅读:93 留言:0更新日期:2017-08-20 04:09
本发明专利技术提供一种用于激光烧蚀的方法,其减少或消除由于对从其移除烧蚀材料的表面的损坏而产生的衍射效应。所述方法包含以下步骤中的至少一者:减少所产生的表面损坏的量,以及更改所产生的损坏结构使得其为不规则的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】减小烧蚀表面上的衍射效应相关专利申请案的交叉参考本申请案主张2014年10月24日提交的第62/068,140号美国临时专利申请案的权益,该临时专利申请案的全部揭示内容以引用的方式并入本文中以用于任何和所有目的。
本专利技术大体上涉及激光烧蚀过程和由该过程产生的产品。
技术介绍
激光烧蚀过程通常包含通过将激光束导向至工件而在工件的表面选择性地移除材料。激光束被配置成在激光束撞击所需表面的地方限定的激光光斑处递送受控量的能量。该受控量的能量经选择以液化、汽化或以其它方式使表面材料在激光光斑处快速膨胀,以使其从工件分离以便移除。激光烧蚀可用来从带涂层的基底移除一个或多个涂层的至少一部分。常规激光烧蚀过程通常在目标(聚焦)光学件的焦点高度或距离处执行,即激光束的焦平面处于待从其移除材料的表面处或附近。此随着表面的高度的改变给出最高能量密度和光斑大小的最小改变。已发现,对于一些常规聚焦激光烧蚀过程,例如利用皮秒绿(532nm)脉冲激光从玻璃移除铬(Cr),玻璃以某一程度和规则周期性维持表面损坏使得形成衍射光栅。由衍射光栅产生的衍射图案可能是烧蚀过程的非想要或非预期假影。认为对衍射光栅负责的表本文档来自技高网...
减小烧蚀表面上的衍射效应

【技术保护点】
一种从表面移除材料的方法,其包括:使激光通过透镜,以及使所述激光撞击在所述材料上,其中所述透镜和所述材料之间的工作距离不同于所述透镜的焦距。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.24 US 62/068,1401.一种从表面移除材料的方法,其包括:使激光通过透镜,以及使所述激光撞击在所述材料上,其中所述透镜和所述材料之间的工作距离不同于所述透镜的焦距。2.根据权利要求1所述的方法,其中所述工作距离小于所述焦距的95%。3.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法,其中从其移除所述材料的所述表面在所述材料已移除之后不展现令人反感的衍射效应。4.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法,其中从其移除所述材料的所述表面在所述材料已移除之后展现小于5的衍射严重度。5.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法,其中从其移除所述材料的所述表面在所述材料已移除之后展现周期性结构。6.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法,其中在所述激光撞击在所述待移除材料上之前,所述激光穿过所述表面。7.一种从表面移除材料的方法,其包括:使激光通过透镜,以及使所述激光撞击在所述材料上,其中从其移除所述材料的所述表面上具有假影阵列,所述假影阵列具有假影之间的间隔和假影线之间的间距,且所述间隔和间距中的至少一者变化。8.根据权利要求7所述的方法,其中所述间隔和间距中的至少一者为随机或伪随机的。9.根据权利要求7或8所述的方法,其中所述间距在60μm和200μm之间。10.根据权利要求7到9中任一权利要求所述的方法,...

【专利技术属性】
技术研发人员:H·A·鲁特恩D·L·巴尔曼T·J·斯科特K·L·吉林斯W·L·托纳尔N·A·奥利森
申请(专利权)人:金泰克斯公司
类型:发明
国别省市:美国,US

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