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本发明提供一种用于激光烧蚀的方法，其减少或消除由于对从其移除烧蚀材料的表面的损坏而产生的衍射效应。所述方法包含以下步骤中的至少一者：减少所产生的表面损坏的量，以及更改所产生的损坏结构使得其为不规则的。...
该专利属于金泰克斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过金泰克斯公司授权不得商用。

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