压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置制造方法及图纸

技术编号:16040515 阅读:28 留言:0更新日期:2017-08-19 22:38
本发明专利技术提供压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置。提供能够减少设于压电体的第一布线与第二布线因金属膜的残渣而短路的压电元件。压电元件(1)具备:压电体(4),设于基板(2)上,并具有多条边;第一布线(6),从压电体(4)设置到基板(2);以及第二布线(7),从压电体(4)设置到基板(2),从压电体(4)的厚度方向观察,压电体(4)与第一布线(6)重叠的第二边(4b)、第四边(4d)和压电体(4)与第二布线(7)重叠的第一边(4a)、第三边(4c)为不同的边。

【技术实现步骤摘要】
压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置
本专利技术涉及压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置。
技术介绍
通过施加电压而变形的压电体被广泛地应用。压电体上设置有两个以上的电极。通过在该电极间施加电压而压电体变形。另外,当压电体变形时,两个电极间产生电压差。利用压电体的性质,能够产生超声波。而且,当压电体接收超声波而发生振动时,能够解析电极间的电压差的变动而检测超声波。专利文献1中公开了在压电体设置有电极的压电元件。压电体为板状,表面与背面为平行的面。然后,在表面设置第一电极,在背面设置第二电极。压电体的平面形状为长方形,具有四边。将四边中的一条边作为第一边。第一电极经由通过第一边的第一布线而与背面的第一端子连接。并且,第二电极也经由通过第一边的第二布线而与设于表面的第二端子连接。然后,第一布线及第二布线均沿第一边而配置。压电元件安装在基板上,在基板上设置第三端子及第四端子。并且,第一端子与第三端子连接,第二端子与第四端子连接。专利文献1中记载的压电元件沿一个边而设置第一布线及第二布线。当在基板上配置微小尺寸的压电元件时,利用光刻法来对压电体进行图案化、蚀刻的方法是有效的。当在压电本文档来自技高网...
压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置

【技术保护点】
一种压电元件,其特征在于,具备:压电体,设于基板上,并具有多条边;第一布线,从所述压电体设置到所述基板;以及第二布线,从所述压电体设置到所述基板,从所述压电体的厚度方向观察,所述压电体与所述第一布线重叠的边和所述压电体与所述第二布线重叠的边不同。

【技术特征摘要】
2015.11.30 JP 2015-2328201.一种压电元件,其特征在于,具备:压电体,设于基板上,并具有多条边;第一布线,从所述压电体设置到所述基板;以及第二布线,从所述压电体设置到所述基板,从所述压电体的厚度方向观察,所述压电体与所述第一布线重叠的边和所述压电体与所述第二布线重叠的边不同。2.根据权利要求1所述的压电元件,其特征在于,所述压电体具备设有所述第一布线的第一边与设有所述第二布线的第二边,所述第一边与所述第二边正交。3.根据权利要求1或2所述的压电元件,其特征在于,所述第一布线构成为包括设于所述基板与所述压电体之间的下布线、和从所述压电体上设置到所述下布线的上布线。4.一种压电元件,其特征在于,具备:基板;压电体,设于所述基板上,并且从厚度方向观察的外形具有曲线;第一布线,从所述压电体的第一位置设置到所...

【专利技术属性】
技术研发人员:松田洋史
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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