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压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置制造方法及图纸
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文档序号:16040515
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本发明提供压电元件、压电元件的形成方法及超声波装置。提供能够减少设于压电体的第一布线与第二布线因金属膜的残渣而短路的压电元件。压电元件(1)具备:压电体(4),设于基板(2)上,并具有多条边;第一布线(6),从压电体(4)设置到基板(2);...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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