压电元件以及压电元件应用设备制造技术

本发明专利技术提供一种压电元件以及压电元件应用设备，其中，压电元件具备第一电极、第二电极以及设置于上述第一电极与上述第二电极之间的压电体层，压电体层由Pb(Ni，Nb，Zr，Ti)O3所表示的钙钛矿型复合氧化物构成，钙钛矿型复合氧化物中的Ni及Nb的含量的合计相对于在B位所含有的元素的总含量为1[mol％]以上5[mol％]以下。

【技术实现步骤摘要】
压电元件以及压电元件应用设备
本专利技术涉及位移特性优异的压电元件以及压电元件应用设备。
技术介绍
通常，压电元件具有：具有机电转换特性的压电体层以及夹持压电体层的两个电极。近年来，正在积极进行将这样的压电元件作为驱动源来使用的设备(压电元件应用设备)的开发。作为开发中的压电元件应用设备，可以列举出以喷墨式记录头为代表的液体喷射头、以压电MEMS元件为代表的MEMS构件、以超声波传感器等为代表的超声波测定装置、以及压电致动器装置等。压电体层所使用的压电材料要求具有较高的压电特性，作为这样压电材料，众所周知有复合氧化物(钙钛矿型复合氧化物)、即锆酸钛酸铅(Pb(Zr，Ti)O3，以下称为“PZT”)，上述复合氧化物具有包含钛酸铅(PbTiO3，以下称为“PT”)和氧化锆铅(PbZrO3，以下称为“PZ”)的二成分系的钙钛矿构造。另外，近年来，也在开发使PZT含有第三成分的多成分系的钙钛矿型复合氧化物，作为这样的多成分系的PZT，已知含有铌酸镍酸铅(Pb(Ni，Nb)O3，以下称为“PNN”)作为第三成分的PZT(PNN-PZT)(例如，参照专利文献1、专利文献2)。专利文献1：日本特开本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电元件，其特征在于，具备第一电极、第二电极以及设置于所述第一电极与所述第二电极之间的压电体层，所述压电体层由下述式(1)所表示的钙钛矿型复合氧化物构成，所述钙钛矿型复合氧化物中的Ni及Nb的含量的合计相对于在B位所含有的元素的总含量为1[mol％]以上5[mol％]以下，Pb(Ni，Nb，Zr，Ti)O3……(1)。

【技术特征摘要】
2015.09.29 JP 2015-191995;2016.07.25 JP 2016-145731.一种压电元件，其特征在于，具备第一电极、第二电极以及设置于所述第一电极与所述第二电极之间的压电体层，所述压电体层由下述式(1)所表示的钙钛矿型复合氧化物构成，所述钙钛矿型复合氧化物中的Ni及Nb的含量的合计相对于在B位所含有的元素的总含量为1[mol％]以上5[mol％]以下，Pb...

【专利技术属性】
技术研发人员：板山泰裕，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP