用于移除电介质材料的系统和方法技术方案

本发明专利技术涉及用于移除电介质材料的系统和方法。描述了一种系统，该系统用于移除已经成层在失效电气系统的电气部件顶上的电介质凝胶体，而没有进一步损坏失效电气系统的电气部件。系统包括光栅部件，其配置为投射激光以用于使电部件的电介质层蒸发成位于电介质层上方的等离子体羽状物。系统还包括定位在光栅部件的第一侧上并且配置为在等离子体羽状物位于电介质层上方时提取等离子体羽状物的第一部分的第一真空喷嘴，以及定位在光栅部件的第二侧上并且配置为在等离子体羽状物位于电介质层上方时提取等离子体羽状物的第二部分的第二真空喷嘴。

【技术实现步骤摘要】
用于移除电介质材料的系统和方法
技术介绍
有时候使用电介质材料作为绝缘层来保护印刷电路板、模块和其它芯片的电气部件以免损坏。例如，高功率晶体管模块（诸如，用于汽车应用的绝缘栅双极型晶体管（IGBT）高功率模块）可以操作在近似650伏特的电压和近似1600安培的电流下，并且具有大约1500瓦特的功率耗散。在这样的高操作电压、电流和功率的情况下，高功率晶体管模块可能包括电介质绝缘材料（例如，凝胶体）的厚层，其覆盖高功率晶体管模块的芯片、二极管和其它电气部件以用于保护（例如，抵抗成拱作用）。不幸地，如果电气部件中的一个或多个最终失效，电介质凝胶体保护层可能抑制模块的无效分析。因此，为了准确地确定失效的根本原因，必须在可以执行模块上的受影响区域的恰当检查之前移除电介质绝缘凝胶体。
技术实现思路
大体上，描述了下述电路和技术：该电路和技术用于使用激光系统来快速地移除已经成层在失效电气系统的电气部件顶上的保护电介质凝胶体，而不会引起重铸并且不会进一步损坏电气系统的部件。激光系统使用激光使凝胶体蒸发成在电介质材料的热影响区上方的等离子体羽状物，并且然后使用两个或更多个特殊设计的真空喷嘴来从热影响区域提取等离本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种系统，包括：光栅部件，配置为投射激光以用于使电部件的电介质层蒸发成位于电介质层上方的等离子体羽状物；第一真空喷嘴，定位在光栅部件的第一侧上并且配置为在等离子体羽状物位于电介质层上方时提取等离子体羽状物的第一部分；以及第二真空喷嘴，定位在光栅部件的第二侧上并且配置为在等离子体羽状物位于电介质层上方时提取等离子体羽状物的第二部分。

【技术特征摘要】
2015.10.23 US 14/9213161.一种系统，包括：光栅部件，配置为投射激光以用于使电部件的电介质层蒸发成位于电介质层上方的等离子体羽状物；第一真空喷嘴，定位在光栅部件的第一侧上并且配置为在等离子体羽状物位于电介质层上方时提取等离子体羽状物的第一部分；以及第二真空喷嘴，定位在光栅部件的第二侧上并且配置为在等离子体羽状物位于电介质层上方时提取等离子体羽状物的第二部分。2.权利要求1所述的系统，其中光栅部件还配置为在投射激光用于蒸发电介质层时遵循映射在电部件的电介质层顶上的填充图案，该填充图案是交叉格栅、竖直格栅或水平格栅。3.权利要求2所述的系统，其中填充图案包括比等离子体羽状物的直径小的填充间距。4.权利要求2所述的系统，其中光栅部件的第一侧和光栅部件的第二侧与光栅部件在遵循填充图案时移动的方向一致。5.权利要求4所述的系统，其中当光栅部件在遵循填充图案时移动时，第一喷嘴在等离子体羽状物的前方并且第二喷嘴在等离子体羽状物的后方。6.权利要求1所述的系统，其中光栅的第一侧和光栅的第二侧是光栅的相对侧。7.权利要求1所述的系统，其中以相对于等离子体羽状物的顶点的第一角度定位第一喷嘴的相应开口，并且以相对于等离子体羽状物的顶点的第二角度定位第二喷嘴的相应开口，以用于同时提取等离子体羽状物的第一和第二部分。8.权利要求7所述的系统，其中第一角度近似为150度，并且第二角度近似为30度。9.权利要求1所述的系统，其中激光是连续波激光。10.权利要求9所述的系统，其中激光是包括近似10微米波长和近似40瓦特功率的二氧化碳激光。11.一种方法，包括：在从光栅部件向电部件的电介质层上投射激光以生成电介质层上方的等离子体羽状物时：利用定位在光栅部件的第一侧上...

【专利技术属性】
技术研发人员：GB安德森，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE