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用于移除电介质材料的系统和方法技术方案
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下载用于移除电介质材料的系统和方法的技术资料
文档序号:16040217
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本发明涉及用于移除电介质材料的系统和方法。描述了一种系统,该系统用于移除已经成层在失效电气系统的电气部件顶上的电介质凝胶体,而没有进一步损坏失效电气系统的电气部件。系统包括光栅部件,其配置为投射激光以用于使电部件的电介质层蒸发成位于电介质层...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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