一种曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种曝光装置，其包括挡板组件和透镜组件，所述挡板组件设有曝光孔；所述透镜组件设置在所述挡板组件与待曝光基板之间，所述透镜组件用于将所述曝光孔的侧边产生的衍射光线会聚在所述待曝光基板的待曝光区域。该曝光装置可以较高曝光精确度，提升待曝光基板的曝光品质。

【技术实现步骤摘要】
一种曝光装置
本专利技术涉及光学加工
，尤其涉及一种曝光装置。
技术介绍
使用曝光机进行曝光时，一般需要使用挡板，挡板中设有曝光孔，光源将对产品中与该曝光孔正对应的区域进行曝光，从而在产品上形成所需的图形。然而，光在直线传播过程中遇到挡板会发生衍射现象，即在曝光孔的侧边处发生衍射，产品中与衍射区对应的区域也会存在一定程度的曝光，这就导致产品的实际制作形状与所需的形状差异较大，大大降低曝光机的曝光精确度，同时影响产品的质量。故，有必要提供一种曝光装置，以解决现有技术所存在的问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种曝光装置，以解决因挡板中曝光孔侧边产生衍射光而使得产品中不需要曝光的地方被曝光，进而降低曝光精确度的技术问题。本专利技术实施例提供一种曝光装置，用于对待曝光基板进行曝光，其包括：挡板组件和透镜组件，所述挡板组件设有曝光孔；所述透镜组件设置在所述挡板组件与所述待曝光基板之间，所述透镜组件用于将所述曝光孔的侧边产生的衍射光线会聚在所述待曝光基板的待曝光区域。在本专利技术实施例提供的曝光装置中，所述透镜组件置于所述曝光孔的侧边对应的衍射区；所述透镜组件包括沿所述曝光孔的轴向方向间隔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光装置，用于对待曝光基板进行曝光，其特征在于，包括：挡板组件和透镜组件，所述挡板组件设有曝光孔；所述透镜组件设置在所述挡板组件与所述待曝光基板之间，所述透镜组件用于将所述曝光孔的侧边产生的衍射光线会聚在所述待曝光基板的待曝光区域。

【技术特征摘要】
1.一种曝光装置，用于对待曝光基板进行曝光，其特征在于，包括：挡板组件和透镜组件，所述挡板组件设有曝光孔；所述透镜组件设置在所述挡板组件与所述待曝光基板之间，所述透镜组件用于将所述曝光孔的侧边产生的衍射光线会聚在所述待曝光基板的待曝光区域。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述透镜组件置于所述曝光孔的侧边对应的衍射区；所述透镜组件包括沿所述曝光孔的轴向方向间隔设置的第一透镜和第二透镜，所述第一透镜和第二透镜均为凸透镜沿其主光轴切割形成的半透镜结构；所述挡板组件设置在所述第一透镜的焦距上，所述待曝光基板设置在所述第二透镜的焦距上。3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述第一透镜和第二透镜的切割面均与所述曝光孔的侧边相齐平。4.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述第一透镜的焦距和...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡俊艳，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42