传感器用基板及物理量检测传感器制造技术

本发明专利技术提供传感器用基板及物理量检测传感器，物理量检测传感器的耐冲击性及可靠性优异。传感器用基板的特征在于，具有：基底部；可动部，其与基底部连接；作为支承部的臂部，其在从可动部的厚度方向进行观察的俯视时，从基底部起沿着可动部而延伸；第一间隙部，其具有在所述俯视时，可动部与臂部中的任意一方朝向另一方突出的突出部，并且在其中一个突出部与另一方之间具有预定的间隔；第二间隙部，其在所述俯视时，位于比第一间隙部靠基底部侧处，并具有与预定的间隔相比较宽的间隔，在第一间隙部中，在与臂部的延伸方向垂直的剖视时，可动部以及臂部中的任意一方在面对第一间隙部的一侧具有凸条部。

【技术实现步骤摘要】
传感器用基板及物理量检测传感器
本专利技术涉及一种传感器用基板、物理量检测传感器、加速度传感器、电子设备以及移动体。
技术介绍
以往，例如，如专利文献1所记载的那样，已知有一种在传感器用基板(悬臂部)上固定有对物理量进行检测的物理量检测元件的物理量检测传感器，所述传感器用基板(悬臂部)具有：基底部(固定部)；可动部，其与基底部连接；支承部，其在从可动部的厚度方向进行观察的俯视时，从基底部起沿着可动部而延伸。在该物理量检测传感器中，物理量检测元件的一端被固定在基底部上，另一端被固定在可动部上。此外，物理量检测传感器具备质量部，所述质量部被配置在可动部的两主面中的至少一方上，并且以在所述俯视时一部分与支承部重叠的方式而被配置。在这种结构的物理量检测传感器中，在被施加了超过设计值的冲击的情况下，如果导致可动部的位移变大而超过设计值，则会由于可动部与非预期的部位强烈地接触，或者可动部与基底部的连接部分被施加应力，而存在传感器用基板或物理量检测元件受到损坏的可能。为了避免该问题，专利文献1的物理量检测传感器被构成为，于在从传感器用基板的厚度方向进行观察的俯视时质量部与支承部重叠的区域内，在质量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传感器用基板，其特征在于，所述传感器用基板具有：基底部；可动部，其与所述基底部连接；支承部，其在从所述可动部的厚度方向进行观察的俯视时，从所述基底部起沿着所述可动部而延伸；第一间隙部，其具有在所述俯视时，所述可动部与所述支承部中的任意一方朝向另一方突出的突出部，并且在一个所述突出部与所述另一方之间具有预定的间隔；第二间隙部，其在所述俯视时，位于比所述第一间隙部靠所述基底部侧处，并具有与所述预定的间隔相比较宽的间隔，在所述第一间隙部中，在与所述支承部的延伸方向垂直的剖视时，所述突出部在面对所述第一间隙部的一侧具有凸条部。

【技术特征摘要】
2015.12.28 JP 2015-2560591.一种传感器用基板，其特征在于，所述传感器用基板具有：基底部；可动部，其与所述基底部连接；支承部，其在从所述可动部的厚度方向进行观察的俯视时，从所述基底部起沿着所述可动部而延伸；第一间隙部，其具有在所述俯视时，所述可动部与所述支承部中的任意一方朝向另一方突出的突出部，并且在一个所述突出部与所述另一方之间具有预定的间隔；第二间隙部，其在所述俯视时，位于比所述第一间隙部靠所述基底部侧处，并具有与所述预定的间隔相比较宽的间隔，在所述第一间隙部中，在与所述支承部的延伸方向垂直的剖视时，所述突出部在面对所述第一间隙部的一侧具有凸条部。2.如权利要求1所述的传感器用基板，其特征在于，所述支承部在所述俯视时，被配置在隔着所述可动部的两侧，所述第一间隙部以及所述第二间隙部分别被配置在隔着所述可动部的两侧，各个所述突出部在所述俯视时向同一方向突出。3.如权利要求1或2所述的传感器用基板，其特征在于，所述凸条部被设置在所述突出部的截面的大致中央处。4.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：龟田高弘，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP