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本发明提供传感器用基板及物理量检测传感器，物理量检测传感器的耐冲击性及可靠性优异。传感器用基板的特征在于，具有：基底部；可动部，其与基底部连接；作为支承部的臂部，其在从可动部的厚度方向进行观察的俯视时，从基底部起沿着可动部而延伸；第一间隙部...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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