物理量传感器、传感器器件、电子设备以及移动体制造技术
【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、传感器器件、电子设备以及移动体
本专利技术涉及一种物理量传感器、传感器器件、电子设备以及移动体。
技术介绍
作为对加速度、角速度等的物理量进行检测的物理量传感器而已知有一种所谓杠杆型的传感器(例如，参照专利文献1)。例如，专利文献1所述的物理量传感器具备：底基板；传感器部，其以能够摆动的方式而被底基板支承，并且隔着摆动中心轴而分别在一方侧和另一方侧设置有可动电极部；固定电极部，其以与各可动电极部对置的方式而被设置在底基板上。在这种物理量传感器中，能够根据可动电极部和固定电极部的静电电容而对加速度和角速度等的物理量进行检测。此外，在专利文献1所述的物理量传感器中，在被设置于底基板上的第一凹部的上方配置有传感器部。此外，在底基板的传感器部侧的表面上，于在俯视观察时与传感器部的顶端重叠的位置处，设置有与第一凹部相比而较深的第二凹部。由此，能够减少传感器部与底基板之间的气体阻尼。在前述的专利文献1所述的物理量传感器中，在一方的可动电极部与固定电极部之间所产生的边缘电容不同于在另一方的可动电极部与固定电极部之间所产生的边缘电容。一直以来，由于这种两个边缘电容的...
【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，具备：基板；可动体，其相对于所述基板而对置，并以能够绕摆动中心轴而摆动的方式设置，并且在从所述基板的厚度方向俯视观察时以所述摆动中心轴为边界而被划分为第一可动部、和与所述第一可动部相比而面积较大的第二可动部；第一电极，其以与所述第一可动部对置的方式被配置在所述基板上；第二电极，其以与所述第二可动部对置的方式被配置在所述基板上，所述第一电极以及所述第二电极被构成为，对所述第一可动部与所述第一电极之间的第一边缘电容和所述第二可动部与所述第二电极之间的第二边缘电容的差分的至少一部分进行抵消。
【技术特征摘要】
2015.09.15 JP 2015-1816511.一种物理量传感器，其特征在于，具备：基板；可动体，其相对于所述基板而对置，并以能够绕摆动中心轴而摆动的方式设置，并且在从所述基板的厚度方向俯视观察时以所述摆动中心轴为边界而被划分为第一可动部、和与所述第一可动部相比而面积较大的第二可动部；第一电极，其以与所述第一可动部对置的方式被配置在所述基板上；第二电极，其以与所述第二可动部对置的方式被配置在所述基板上，所述第一电极以及所述第二电极被构成为，对所述第一可动部与所述第一电极之间的第一边缘电容和所述第二可动部与所述第二电极之间的第二边缘电容的差分的至少一部分进行抵消。2.一种物理量传感器，其特征在于，具备：基板；可动体，其相对于所述基板而对置，并以能够绕摆动中心轴而摆动的方式设置，并且在从所述基板的厚度方向俯视观察时以所述摆动中心轴为边界而被划分为第一可动部、和与所述第一可动部相比而面积较大的第二可动部；第一电极，其以与所述第一可动部对置的方式被配置在所述基板上；第二电极，其以与所述第二可动部对置的方式被配置在所述基板上，在进行所述俯视观察时，所述第一可动部和所述第一电极重叠的第一区域的面积与所述第二可动部和所述第二电极所重叠的第二区域的面积相比而较大。3.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，在所述第一可动部与所述第二可动部所排列的方向上的所述第二区域的长度与所述第一区域的长度相比而较短。4.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，在进行所述俯视观察时，所述第一电极的与所述摆动中心轴相反侧的一端位于所述第一区域的外侧。5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，沿着所述摆动中心轴的方向上的所述第一电极以及所述第二电极各自的长度与所述可动体的长度相比而较长。6.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，在将所述俯视观察时的所述第一区域与所述摆动中心轴之间的长度设为L1，并将所述俯视观察时的所述第二区域与所述摆动中心轴之间的长度设为L2时，满足L1≤L2的关系...
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