下载物理量传感器、传感器器件、电子设备以及移动体的技术资料

文档序号:16034979

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本发明提供一种能够使检测精度提高的物理量传感器、具备所述物理量传感器的传感器器件、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备:底基板(2);可动部(42),其相对于底基板(2)而对置,并以能够绕轴aY而摆动的方式设置,并且在俯视观察时以轴a...
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