带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀制造技术

本实用新型专利技术涉及翻板阀，旨在提供一种带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀。其翻板位于板阀腔内，一侧通过活动铰链固定在板阀腔上；驱动轴贯穿板阀腔的侧壁，末端通过双摇杆机构与翻板实现连接：驱动轴与主动摇杆的一端固定连接；主动摇杆、连杆、从动摇杆活动连接，从动摇杆的另一端固定在翻板上；当翻板阀位于关闭位置时，连杆与主动摇杆呈共线状态，使双摇杆机构处于死点位置以实现自锁。该产品能够完成自锁，保证在气缸停止动作时翻板阀不会因板阀腔两侧压力差过大而使翻板阀意外打开，安全可靠。限位凸轮与限位块保证翻板阀不会因为双摇杆机构的过运动而重新打开，保证翻板阀的密封。结构紧凑，能够很好的满足腔体结构尺寸的要求。

Turning plate valve for flat type PECVD equipment with self-locking and limiting function

The utility model relates to a plate turning valve, which aims to provide a turning plate valve for a flat type PECVD device with self-locking and limiting function. The board is located in the valve cavity is fixed on one side plate valve cavity through the movable hinge; the drive shaft through the plate valve cavity side wall, end through the double rocker mechanism and turning plate connection: one end of the driving shaft and the driving rocker is fixedly connected with the connecting rod; active rocker, rocker, from the play, from the other end shake rod fixed on the turning plate; when the valve is in the closed position, the connecting rod and the rocker is collinear to active state, double rocker mechanism in the dead position to realize self lock. The product can be completed self-locking, to ensure that when the cylinder stops, the plate valve will not open because of the pressure difference between the two sides of the plate valve cavity, so that the shutter valve is accidentally opened, safe and reliable. The limit cam and the limiting block ensure that the shutter valve is not reopened because of the movement of the double rocker mechanism, so as to ensure the sealing of the turning plate valve. Compact structure, can meet the requirements of cavity structure size.

【技术实现步骤摘要】
带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀
本技术涉及翻板阀，更确切的说是一种带有自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀。
技术介绍
近年来，为了降低太阳能电池的成本，硅片的厚度不断降低，但是随着硅片厚度的减薄，少数载流子的扩散长度可能接近或大于硅片的厚度，部分少数载流子将会扩散到电池背面而产生复合，这将对电池效率产生重要影响。因此，为了提高电池片的转换效率，需要在电池片表面镀减反射膜。目前镀减反射膜主要采用PECVD方法(等离子体增强化学气相沉积技术，PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)。PECVD方法能起到钝化的作用，降低电池片背面复合速率。PECVD方法是制备减反膜方法中最为成熟，操作也较为简单，能够实现全自动化生产。目前的PECVD设备主要有两种，一种是管式PECVD设备，这种设备采用的工作方法是在单一腔室内连续实现镀减反膜的一系列过程；另一种是平板式PECVD设备，这种设备能够实现连续生产，产能也很高。平板式PECVD设备各腔室内的温度、压力和工艺气体各不相同，故要求各腔室之间要做到物理隔离，使用翻板阀是目前主流的隔离方式，现有技术中的翻板阀结构尺寸偏大且不符合PECVD腔室结构的要求，板阀密封性能不足，翻板阀机构无法完成自锁，使用过程中需始终施加力以使板阀保持关闭状态，能耗高。鉴于以上不足，现有翻板阀产品不能满足需求。
技术实现思路
：本技术主要是解决现有技术所存在的技术问题，从而提供一种带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀。该板阀以气缸作为动力源实现板阀的开合，结构紧凑、密封性能良好且可以实现自锁，安全可靠。为解决技术问题，本技术的解决方案是：提供一种带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀，具有中空的板阀腔，阀门通道是设于板阀腔壁上的开孔；用于封闭阀门通道的翻板位于板阀腔内部，其一侧通过活动铰链固定在板阀腔的内壁上；该翻板阀还包括驱动气缸和驱动轴，两者通过运动转换机构连接，用于将气缸推杆的直线运动转换为驱动轴的旋转运动；驱动轴贯穿板阀腔的一个侧壁，其位于板阀腔中的末端通过双摇杆机构与翻板实现连接：驱动轴与主动摇杆的一端固定连接；主动摇杆的另一端通过连杆与从动摇杆的一端连接，从动摇杆的另一端固定在翻板上，连杆与主动摇杆和从动摇杆之间均为活动连接；当翻板阀位于关闭位置时，连杆与主动摇杆呈共线状态，使双摇杆机构处于死点位置以实现自锁。作为改进，所述驱动轴上固定设置限位凸轮，在板阀腔上设置与限位凸轮对应的限位块；当连杆与主动摇杆呈共线状态时，限位凸轮与限位块相接触并使驱动轴停止转动。作为改进，在翻板与板阀腔相贴合的表面上各设有燕尾槽，燕尾槽中装有用于实现密封的O型橡胶密封圈。作为改进，所述翻板阀具有由铝合金材料通过一体加工成型的板阀腔。作为改进，所述驱动轴在板阀腔中的末端截面呈多边形，主动摇杆的一端设置与之匹配的开孔，主动摇杆套装在驱动轴的端部以实现固定。作为改进，所述从动摇杆的另一端固定在翻板的侧边位置。作为改进，所述连杆与主动摇杆和从动摇杆之间是铰链形式的活动连接。本技术的工作过程是：驱动气缸动作，通过运动转换机构将气缸推杆的直线运动转换为驱动轴的旋转运动驱动轴与双摇杆机构的主动摇杆相连并带动其做摆动，从动摇杆和翻板固定相连，因此翻板将随从动摇杆一起做摆动，进而完成翻板阀的启闭动作。当翻板阀关闭时双摇杆机构的连杆和主动摇杆共线，双摇杆机构处于死点位置，能够完成自锁，保证在气缸停止动作时板阀不会因板阀腔另一侧的高气压而使板阀意外打开；当双摇杆机构处于自锁位置时，限位凸轮与限位块相接触，使得与限位凸轮固定相连的驱动轴停止运动，保证板阀不会因为摇杆的过运动而重新打开，保证翻板阀的密封。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、当翻板阀关闭时双摇杆机构的连杆和主动摇杆共线，双摇杆机构处于死点位置，能够完成自锁，保证在气缸停止动作时翻板阀不会因板阀腔两侧压力差过大而使翻板阀意外打开，安全可靠。2、当双摇杆机构处于自锁位置时，限位凸轮与限位块相接触，使得与限位凸轮固定相连的驱动轴停止运动；保证翻板阀不会因为双摇杆机构的过运动而重新打开，保证翻板阀的密封。3、翻板阀结构非常紧凑，并且能够很好的满足腔体结构尺寸的要求。附图说明图1为翻板阀产品的结构示意图(剖视图)。图2为另一视角的翻板阀结构示意图(剖视图)。图3为板阀开启时的结构示意图(剖视图)。图4为板阀关闭时的结构示意图(剖视图)。图5为图4的后视图。图6为翻板阀的双摇杆机构的运动简图。其中：1、板阀腔；2、翻板；3、从动摇杆；4、连杆；5、主动摇杆；6、驱动轴；7、运动转换机构；8、驱动气缸；9、限位凸轮；10、限位块。具体实施方式下面结合附图对本技术的优选实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域的技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。如图1所示，带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀，具有中空的板阀腔1，阀门通道是设于板阀腔1壁上的开孔；用于封闭阀门通道的翻板2位于板阀腔1内部，其一侧通过活动铰链固定在板阀腔1的内壁上。该翻板阀还包括驱动气缸8和驱动轴6，两者通过运动转换机构7连接，用于将气缸推杆的直线运动转换为驱动轴6的旋转运动；驱动轴6贯穿板阀腔1的一个侧壁，其位于板阀腔1中的末端通过双摇杆机构与翻板2实现连接：驱动轴6与主动摇杆5的一端固定连接；主动摇杆5的另一端通过连杆4与从动摇杆3的一端连接，从动摇杆3的另一端固定在翻板2上，连杆4与主动摇杆5和从动摇杆3之间均为活动连接；当翻板阀位于关闭位置时，连杆4与主动摇杆5呈共线状态，使双摇杆机构处于死点位置以实现自锁。驱动轴6上固定设置限位凸轮9，在板阀腔1上设置与限位凸轮9对应的限位块10；当连杆4与主动摇杆5呈共线状态时，限位凸轮9与限位块10相接触并使驱动轴6停止转动。翻板阀板阀腔1可以用铝合金材料通过一体加工成型。在翻板2与板阀腔1相贴合的表面上各设有燕尾槽，燕尾槽中装有用于实现密封的O型橡胶密封圈。作为可选方案，驱动轴6宜采用高强度的材料，确保其刚度。驱动轴6在板阀腔1中的末端截面呈多边形(例如正方形)，主动摇杆5的一端设置与之匹配的开孔，主动摇杆5套装在驱动轴6的端部以实现固定。连杆4与主动摇杆5和从动摇杆3之间是铰链形式的活动连接。从动摇杆3的另一端固定在翻板2的侧边位置。如图1所示，该双摇杆机构包括一从动摇杆3，一连杆4和一主动摇杆5，该连杆4的两端分别和从动摇杆3和主动摇杆5转动连接。本技术的工作过程是：驱动气缸8动作，运动转换机构7将气缸推杆的直线运动转换为驱动轴6的旋转运动并传递给驱动轴6，驱动轴6与双摇杆机构中的主动摇杆5相连并带动其做摆动，从动摇杆3和翻板2固定相连，因此翻板2将随从动摇杆3一起做摆动，进而完成翻板阀的启闭动作。当翻板阀关闭时双摇杆机构中的连杆4和主动摇杆5共线，双摇杆机构处于死点位置，能够完成自锁，保证在驱动气缸8停止动作时翻板阀不会因板阀腔1两侧压力差过大而使翻板阀意外打开；当双摇杆机构处于自锁位置时，限位凸轮9与限位块10相接触，使得驱动轴6停止运动，保证翻板阀不会因本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀，具有中空的板阀腔，阀门通道是设于板阀腔壁上的开孔；其特征在于，用于封闭阀门通道的翻板位于板阀腔内部，其一侧通过活动铰链固定在板阀腔的内壁上；该翻板阀还包括驱动气缸和驱动轴，两者通过运动转换机构连接，用于将气缸推杆的直线运动转换为驱动轴的旋转运动；驱动轴贯穿板阀腔的一个侧壁，其位于板阀腔中的末端通过双摇杆机构与翻板实现连接：驱动轴与主动摇杆的一端固定连接；主动摇杆的另一端通过连杆与从动摇杆的一端连接，从动摇杆的另一端固定在翻板上，连杆与主动摇杆和从动摇杆之间均为活动连接；当翻板阀位于关闭位置时，连杆与主动摇杆呈共线状态，使双摇杆机构处于死点位置以实现自锁。

【技术特征摘要】
1.一种带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀，具有中空的板阀腔，阀门通道是设于板阀腔壁上的开孔；其特征在于，用于封闭阀门通道的翻板位于板阀腔内部，其一侧通过活动铰链固定在板阀腔的内壁上；该翻板阀还包括驱动气缸和驱动轴，两者通过运动转换机构连接，用于将气缸推杆的直线运动转换为驱动轴的旋转运动；驱动轴贯穿板阀腔的一个侧壁，其位于板阀腔中的末端通过双摇杆机构与翻板实现连接：驱动轴与主动摇杆的一端固定连接；主动摇杆的另一端通过连杆与从动摇杆的一端连接，从动摇杆的另一端固定在翻板上，连杆与主动摇杆和从动摇杆之间均为活动连接；当翻板阀位于关闭位置时，连杆与主动摇杆呈共线状态，使双摇杆机构处于死点位置以实现自锁。2.根据权利要求1所述的翻板阀，其特征在于，所述驱动轴上固定设置限位凸轮，在板阀腔上...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，石刚，洪昀，高振波，王伟星，祝广辉，吴威，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33