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本实用新型涉及翻板阀，旨在提供一种带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀。其翻板位于板阀腔内，一侧通过活动铰链固定在板阀腔上；驱动轴贯穿板阀腔的侧壁，末端通过双摇杆机构与翻板实现连接：驱动轴与主动摇杆的一端固定连接；主动摇杆、连...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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