干涉物镜及基准表面单元组制造技术

本发明专利技术公开了干涉物镜及基准表面单元组。干涉物镜包括：物镜，构造成将从光源发出的光朝向测量目标汇聚；具有基准表面的基准表面单元；以及分束器，该分束器构造成将已经通过物镜的光分成面朝向基准表面的基准光路和面朝向测量目标的测量光路，以将来自基准表面的反射光和来自测量目标的反射光合成，并将其作为干涉光输出，其中干涉表面单元被构造成可置换的。

【技术实现步骤摘要】
干涉物镜及基准表面单元组
本专利技术涉及用于显微镜的干涉物镜和基准表面单元组，以及基于该显微镜的图像测量装置或精细形状测量装置。
技术介绍
在测量要被加工的金属表面的表面纹理以及半导体集成电路的电路图案的形状和阶梯(step)以及测量透明薄膜的厚度的领域中，具有低放大率的光学宏观放大观测装置或者具有比所述装置更大放大率的光学显微镜设置有干涉功能，而且所观察到的干涉条纹经过图像处理，从而高精度地测量精细表面形状。在能够执行干涉测量的放大光学装置中，构成干涉系统的部件或结构具有整体形成于其上的物镜并作为单个构件起干涉系统的作用。物镜被称为干涉物镜。一般的干涉物镜具有物镜、基准表面和分束器。物镜构造成使从光源发出的光朝向测量目标汇聚。由物镜汇聚的光在分束器处被分成面朝向基准表面成为基准的基准光路以及面朝向测量目标表面(要被测量的表面)的测量光路。已经通过基准光路的光在基准表面上反射，而已经通过测量光路的光在要被测量的表面上反射。被反射的光再次在分束器处合成，然后作为干涉光输出。作为用于引发干涉的光源，通常使用的是由白炽灯、LED等生成的白光。由于白光具有低干涉，干涉强度在一窄范围内变为峰值本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干涉物镜，包括：物镜，构造成将从光源发射的光朝向测量目标汇聚；具有基准表面的基准表面单元；以及分束器，该分束器构造成将已经通过物镜的光分成面朝向基准表面的基准光路和面朝向测量目标的测量光路，以将来自基准表面的反射光和来自测量目标的反射光合成，并将其作为干涉光输出，其中干涉表面单元被构造成可置换的。

【技术特征摘要】
2015.11.17 JP 2015-2244161.一种干涉物镜，包括：物镜，构造成将从光源发射的光朝向测量目标汇聚；具有基准表面的基准表面单元；以及分束器，该分束器构造成将已经通过物镜的光分成面朝向基准表面的基准光路和面朝向测量目标的测量光路，以将来自基准表面的反射光和来自测量目标的反射光合成，并将其作为干涉光输出，其中干涉表面单元被构造成可置换的。2.根据权利要求1的干涉物镜，其中干涉表面单元安装成使之可以自由地安装和拆卸。3.根据权利要求1的干涉物镜，其中基准表面单元的基准表面形成为除了平面形状之外的任意形状，如阶梯或形状图案。4.根据权利要求3的干涉物镜，其中所述任意形状是对应于测量目标的表面形状的形状。5.根据权利要求1的干涉物镜，其中基准表面单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：半田博久，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本,JP