【技术实现步骤摘要】
波长移相中基于FAST-ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法
本专利技术涉及光学检测领域，具体涉及一种波长移相中基于FAST-ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法。
技术介绍
移相干涉技术从实现方式上可以分为以压电陶瓷为代表的硬件移相技术和波长移相技术，波长移相技术又称为准软件移相技术。当测量平行平板时，硬件移相技术不能克服平行平板前后表面干涉形成的寄生条纹的影响，需要进行涂抹凡士林等措施消除寄生条纹，但由此会对测量引入误差。而波长移相技术可以克服上述缺点，利用算法实现前后表面干涉信号分离，从而以较高的精度实现平行平板前后表面面形的测量。在波长移相干涉仪中，激光器既作为光源，其波长又可以连续改变，起到移相器的作用。当测量平行平板时，根据波长移相原理，前后表面产生的干涉信号虽然空域的干涉图上是混叠在一起的，但在频域上，前后表面产生的干涉信息频率是不同的，因此，原理上前后表面的干涉信息是可分离的，从而可以通过设计合适的算法实现前后表面信息的分离并获得各自的轮廓信息。波长移相测量技术的优点总结如下：(1)波长移相技术不需要推动大口径的参考镜，可以简化参考镜的机械...
【技术保护点】
一种波长移相中基于FAST‑ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法，其特征在于，由以下步骤实现：步骤一：波长移相干涉仪通过波长调谐测量超薄平行平板，得到包含前后表面面形信息的一系列波长移相干涉图；步骤二：根据像素列出时域序列干涉信号，对序列干涉信号去均值化：首先求出干涉信号的均值，然后将干涉信号减去均值，得到去均值化后的干涉信号；步骤三：利用白化矩阵将均值化后的干涉信号进行白化；步骤四：根据独立分量提取算法，利用分离矩阵处理白化后的去均值信号；步骤五：判断是否收敛：如果收敛，则分离矩阵已最优，即得到待分离的前后表面干涉信号，执行第六步；如果不收敛，则分离矩阵不是最优，需要...
【技术特征摘要】
1.一种波长移相中基于FAST-ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法，其特征在于，由以下步骤实现：步骤一：波长移相干涉仪通过波长调谐测量超薄平行平板，得到包含前后表面面形信息的一系列波长移相干涉图；步骤二：根据像素列出时域序列干涉信号，对序列干涉信号去均值化：首先求出干涉信号的均值，然后将干涉信号减去均值，得到去均值化后的干涉信号；步骤三：...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙涛，董焰章，于瀛洁，牟柯冰，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：上海,31
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