一种用于清洗多晶厚片料工装及其加工方法技术

本发明专利技术涉及一种用于清洗多晶厚片料工装，属于硅片清洗技术领域。该用于清洗多晶厚片料工装，包括底板、中央挡板和侧挡板，底板上均匀间隔开设有第一通孔，中央挡板上均匀间隔开设有第二通孔，侧挡板上均匀间隔开设有第三通孔，中央挡板沿底板中间的长度方向与底板垂直固接，中央挡板的长度与底板的长度相等，底板上均匀间隔开设有侧挡板固定槽，侧挡板固定槽的长度方向与底板的宽度方向平行，侧挡板通过侧挡板固定槽与底板垂直卡接，侧挡板远离中央挡板的一端与底板的边缘平齐。本发明专利技术的用于清洗多晶厚片料工装可以直接放置在全自动清洗机花篮中操作，可以做到全自动清洗机清洗片料，降低工人劳动强度，提高生产效率和经济效益。

A tool for cleaning polycrystalline thick sheet material and processing method thereof

The invention relates to a workpiece for cleaning polycrystalline thick sheet material, belonging to the technical field of silicon wafer cleaning. The polycrystalline material used for cleaning thick tooling, comprises a soleplate and a central baffle plate and a side baffle plate, bottom plate evenly spaced a first through hole, the central baffle evenly spaced with second holes, evenly spaced side baffle plate is provided with third through holes along the length direction of central baffle in the middle of the bottom plate and the bottom plate is vertically fixed the length of the central baffle plate and the bottom plate of equal length, evenly spaced with a lateral baffle fixing groove, parallel to the width direction along the length of side baffle fixing groove and the bottom side by side baffle, baffle fixing groove and the bottom vertical clamping, side baffle away from the end of the central baffle and the bottom edge. The present invention for cleaning polycrystalline thick sheet tooling can be placed directly in the operation of automatic washing machine and a basket of flowers, can do the cleaning sheet automatic washing machine, reduce labor intensity, improve the production efficiency and economic benefits.

【技术实现步骤摘要】
一种用于清洗多晶厚片料工装及其加工方法
本专利技术涉及一种用于清洗多晶厚片料工装及其加工方法，属于硅片清洗

技术介绍
多晶小锭部分截断时将头部回收料部分不截断，经过碾磨后上切片机完成切片，此部分原本作为头部回收料部分经过切片机分线网切割成1.5mm-3.5mm厚度不等的硅片，经过脱胶后，我们称此部分硅片为“多晶厚片料”。因这种厚片料质量、尺寸达不到正常硅片要求，故作为多晶厚片料重新回炉使用，在回炉之前，如按照我们正常清洗片料的工艺，将厚片料破碎放置在花篮中清洗，重叠部分因酸无法腐蚀到位，会形成表面脏污，故尔如何将此料清洗到表面无斑，无浆料残留，无异物成为我们需要解决的难点。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是，针对现有技术不足，提出一种提高清洗质量的用于清洗多晶厚片料工装。本专利技术为解决上述技术问题提出的技术方案是：一种用于清洗多晶厚片料工装，包括长方形的底板、长方形的中央挡板和侧挡板，底板上均匀间隔开设有第一通孔，中央挡板上均匀间隔开设有第二通孔，侧挡板上均匀间隔开设有第三通孔，中央挡板沿底板中间的长度方向与底板垂直固接，中央挡板的长度与底板的长度相等，底板上均匀间隔开设有侧挡板固定槽，侧挡板固定槽的长度方向与底板的宽度方向平行，侧挡板至少有一个，侧挡板通过侧挡板固定槽与底板垂直卡接，侧挡板远离中央挡板的一端与底板的边缘平齐。上述技术方案的改进是：底板长度为404mm，宽度为316mm，厚度为5mm。上述技术方案的改进是：中央挡板的长度为404mm，高度为160mm，厚度为2mm。上述技术方案的改进是：侧挡板的长度为157mm，高度为160mm，厚度为1mm。上述技术方案的改进是：侧挡板的上下两端开设有梯形开口。上述技术方案的改进是：第一通孔的直径为5mm，第一通孔之间的间隔为5mm。上述技术方案的改进是：第二通孔和第三通孔的直径均为3mm，第二通孔之间的间隔为5mm，第三通孔之间的间隔为5mm。上述技术方案的改进是：侧挡板固定槽之间间隔2mm，侧挡板固定槽宽度为1mm，深度为3mm。本专利技术的用于清洗多晶厚片料工装的加工方法，包括以下步骤：（1）取5mm厚的四氟板，截取长度为404mm，宽度为316mm的长方形板材作为底板，喷涂耐腐蚀涂层；（2）在底板上打孔，孔径5mm，间隔为5mm，每排交错开孔；（3）在地板上沿宽度方向均匀间隔开设有侧挡板固定槽，间隔为2mm，侧挡板固定槽宽的度为1mm，深度为3mm；（4）取2mm厚的四氟板，截取长度为404mm，高度为160mm的长方形板材作为中央挡板，喷涂耐腐蚀涂层；（5）在中央挡板上开孔，孔径3mm，间隔为5mm，每排交错开孔；（6）取1mm厚的四氟板，截取长度为157mm，高度为160mm的长方形板材作为侧挡板，喷涂耐腐蚀涂层；（7）在侧挡板上开孔，孔径3mm，间隔为5mm，每排交错开孔；（8）将中央挡板沿底板中间的长度方向与所述底板垂直焊接，具体步骤为：a、处理焊口，将中央挡板和的底板的焊口处理成坡度焊口；b、将中央挡板和的底板的焊口放在搭焊机的磨具焊接部位，采用玻纤带缠绕固定；c、将上方的加热炉下放，盖住焊接部位，加热烧结焊接；d、提起加热炉，拆下玻纤带，焊接完成；（9）将至少一块侧挡板通过侧挡板固定槽与所述底板垂直卡接，制得用于清洗多晶厚片料工装。本专利技术采用上述技术方案的有益效果是：（1）本专利技术的用于清洗多晶厚片料工装可以直接放置在全自动清洗机花篮中操作，可以做到全自动清洗机清洗片料，降低工人劳动强度，提高生产效率和经济效益；（2）本专利技术的用于清洗多晶厚片料工装采用插片式原理，根据厚片的不同厚度调节侧挡板的数量，从而调节侧挡板之间的间隙，避免因厚片重叠造成的酸斑、水斑、杂质等，可将厚片料半自动人工清洗更改为全自动插片清洗，减少工人直接跟酸接触的风险，提升厚片料的清洗质量；（3）本专利技术的用于清洗多晶厚片料工装的侧挡板通过侧挡板固定槽与底板垂直卡接，采用的是底部插板式设计，侧挡板可根据需要放置或取出，可以适应各种厚度的厚片料；（4）本专利技术的用于清洗多晶厚片料工装加工时，底板、中央挡板和侧挡板都喷涂有耐腐蚀涂层，防止工装在清洗作业的过程中被腐蚀，延长了使用寿命；（5）本专利技术的用于清洗多晶厚片料工装加工时，焊接时采用坡度焊口焊接，焊接口平整不明显，焊接强度大，延长了使用寿命。附图说明下面结合附图对本专利技术作进一步说明：图1是本专利技术实施例用于清洗多晶厚片料工装的结构示意图；图2是本专利技术实施例用于清洗多晶厚片料工装的中央挡板的结构示意图；图3是本专利技术实施例用于清洗多晶厚片料工装的侧挡板的结构示意图；其中：1-底板；2-中央挡板；3-侧挡板；4-第一通孔；5-第二通孔；6-第三通孔。具体实施方式实施例本实施例的用于清洗多晶厚片料工装，如图1、2和3所示，包括长方形的底板1、长方形的中央挡板2和侧挡板3，底板1上均匀间隔开设有第一通孔4，中央挡板2上均匀间隔开设有第二通孔5，侧挡板3上均匀间隔开设有第三通孔6，中央挡板2沿底板1中间的长度方向与底板1垂直固接，中央挡板2的长度与底板1的长度相等，底板1上均匀间隔开设有侧挡板固定槽（图中未示出），侧挡板固定槽的长度方向与底板1的宽度方向平行，侧挡板3有六个，侧挡板3通过侧挡板固定槽与底板1垂直卡接，侧挡板3远离中央挡板2的一端与底板1的边缘平齐。底板1长度为404mm，宽度为316mm，厚度为5mm。中央挡板2的长度为404mm，高度为160mm，厚度为2mm。侧挡板3的长度为157mm，高度为160mm，厚度为1mm。侧挡板的上下两端开设有梯形开口，开口底部角度为120°。第一通孔4的直径为5mm，第一通孔4之间的间隔为5mm。第二通孔5和第三通孔6的直径均为3mm，第二通孔5之间的间隔为5mm，第三通孔6之间的间隔为5mm。侧挡板固定槽之间间隔2mm，侧挡板固定槽宽度为1mm，深度为3mm。本实施例的用于清洗多晶厚片料工装在使用时，根据厚片的不同厚度调节侧挡板的数量，从而调节侧挡板之间的间隙，避免因厚片重叠造成的酸斑、水斑、杂质等，可将厚片料半自动人工清洗更改为全自动插片清洗，减少工人直接跟酸接触的风险，提升厚片料的清洗质量。本专利技术的用于清洗多晶厚片料工装的加工方法，包括以下步骤：（1）取5mm厚的四氟板，截取长度为404mm，宽度为316mm的长方形板材作为底板，喷涂耐腐蚀涂层；（2）在底板上打孔，孔径5mm，间隔为5mm，每排交错开孔；（3）在地板上沿宽度方向均匀间隔开设有侧挡板固定槽，间隔为2mm，侧挡板固定槽宽的度为1mm，深度为3mm；（4）取2mm厚的四氟板，截取长度为404mm，高度为160mm的长方形板材作为中央挡板，喷涂耐腐蚀涂层；（5）在中央挡板上开孔，孔径3mm，间隔为5mm，每排交错开孔；（6）取1mm厚的四氟板，截取长度为157mm，高度为160mm的长方形板材作为侧挡板，喷涂耐腐蚀涂层；（7）在侧挡板上开孔，孔径3mm，间隔为5mm，每排交错开孔；（8）将中央挡板沿底板中间的长度方向与所述底板垂直焊接，具体步骤为：a、处理焊口，将中央挡板和的底板的焊口处理成坡度焊口；b、将中央挡板和的底板的焊口放在搭焊机的磨具焊接部位，采用玻纤带缠绕固定；c、将上方的加热炉下放，盖住焊本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于清洗多晶厚片料工装，其特征在于：包括长方形的底板、长方形的中央挡板和侧挡板，所述底板上均匀间隔开设有第一通孔，所述中央挡板上均匀间隔开设有第二通孔，所述侧挡板上均匀间隔开设有第三通孔，所述中央挡板沿底板中间的长度方向与所述底板垂直固接，所述中央挡板的长度与所述底板的长度相等，所述底板上均匀间隔开设有侧挡板固定槽，所述侧挡板固定槽的长度方向与所述底板的宽度方向平行，所述侧挡板至少有一个，所述侧挡板通过侧挡板固定槽与所述底板垂直卡接，所述侧挡板远离中央挡板的一端与所述底板的边缘平齐。

【技术特征摘要】
1.一种用于清洗多晶厚片料工装，其特征在于：包括长方形的底板、长方形的中央挡板和侧挡板，所述底板上均匀间隔开设有第一通孔，所述中央挡板上均匀间隔开设有第二通孔，所述侧挡板上均匀间隔开设有第三通孔，所述中央挡板沿底板中间的长度方向与所述底板垂直固接，所述中央挡板的长度与所述底板的长度相等，所述底板上均匀间隔开设有侧挡板固定槽，所述侧挡板固定槽的长度方向与所述底板的宽度方向平行，所述侧挡板至少有一个，所述侧挡板通过侧挡板固定槽与所述底板垂直卡接，所述侧挡板远离中央挡板的一端与所述底板的边缘平齐。2.根据权利要求1所述的用于清洗多晶厚片料工装，其特征在于：所述底板长度为404mm，宽度为316mm，厚度为5mm。3.根据权利要求2所述的用于清洗多晶厚片料工装，其特征在于：所述中央挡板的长度为404mm，高度为160mm，厚度为2mm。4.根据权利要求3所述的用于清洗多晶厚片料工装，其特征在于：所述侧挡板的长度为157mm，高度为160mm，厚度为1mm。5.根据权利要求4所述的用于清洗多晶厚片料工装，其特征在于：所述侧挡板的上下两端开设有梯形开口。6.根据权利要求5所述的用于清洗多晶厚片料工装，其特征在于：所述第一通孔的直径为5mm，第一通孔之间的间隔为5mm。7.根据权利要求6所述的用于清洗多晶厚片料工装，其特征在于：所述第二通孔和第三通孔的直径均为3mm，第二通孔之间的间隔为5mm，第三通孔之间的间隔为5...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚翠云，陈董良，
申请(专利权)人：镇江环太硅科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32