缺陷检查用拍摄装置及系统、膜制造装置及制造方法、缺陷检查用拍摄方法、缺陷检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供缺陷检查用拍摄装置、缺陷检查系统、膜制造装置、缺陷检查用拍摄方法、缺陷检查方法以及膜的制造方法，能够整合不同的检查系列，削减检查系列数。本发明专利技术的一实施方式所涉及的缺陷检查用拍摄装置用于进行具有偏振特性的膜的缺陷检查，具备：光照射机构，其向膜的拍摄区域照射光；拍摄机构，其将膜的拍摄区域拍摄为二维图像；第一偏振滤波器，其以与膜形成正交偏振状态的方式，配置在光照射机构与膜的拍摄区域之间；搬运机构，其相对于光照射机构、拍摄机构以及偏振滤波器沿搬运方向Y相对地搬运膜，拍摄区域包括在搬运方向被分割出的第一拍摄区域以及第二拍摄区域，第一偏振滤波器配置在光照射机构与第一拍摄区域之间。

【技术实现步骤摘要】
缺陷检查用拍摄装置及系统、膜制造装置及制造方法、缺陷检查用拍摄方法、缺陷检查方法
本专利技术涉及用于检查膜的缺陷的缺陷检查用拍摄装置、缺陷检查系统、膜制造装置、缺陷检查用拍摄方法、缺陷检查方法以及膜的制造方法。
技术介绍
已知对偏振膜以及相位差膜等光学膜、电池的隔膜中使用的膜等的缺陷进行检测的缺陷检查系统。这种缺陷检查系统利用搬运机构搬运膜，利用光照射机构向膜的拍摄区域照射光，利用拍摄机构拍摄膜的拍摄区域，并根据所拍摄的图像进行缺陷检查。作为基于这种缺陷检查系统进行的缺陷检查方法的种类，大体分为透射法和反射法。更详细地说，作为透射法，有正透射法、正交偏振(crossednicol)透射法、透射散射法，作为反射法，有正反射法、正交偏振反射法、反射散射法。在专利文献1中，公开了作为透射法而使用了正透射法、透射散射法的缺陷检查系统，另外，公开了作为反射法而使用了正反射法、反射散射法的缺陷检查系统，在专利文献2中，公开了作为透射法而使用了正交偏振透射法的缺陷检查系统。例如，正透射法适于检测膜贴合工序中的混入、附着所导致的黑异物，正交偏振透射法适于检测粘合件涂敷工序中的混入、附着所导致的亮点，透射散射法适于检测膜搬运工序中的附着异物导致的划痕转印所带来的变形。另一方面，反射法(正反射法、正交偏振反射法、反射散射法)适于检测贴合工序中的咬入所导致的气泡。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-167975号公报专利文献2：日本特开2007-212442号公报为了检测黑异物、亮点、变形、气泡之类的不同的多个缺陷，考虑使用不同的多种检查方法(检查系列)。然而，若检查系列数变多，则投入成本、管理成本变高，因此希望削减检查系列数。
技术实现思路
专利技术要解决的课题因此，本专利技术的目的在于提供能够整合不同的检查系列而削减检查系列数的缺陷检查用拍摄装置、缺陷检查系统、膜制造装置、缺陷检查用拍摄方法、缺陷检查方法以及膜的制造方法。用于解决课题的手段本专利技术的缺陷检查用拍摄装置用于进行具有偏振特性的膜的缺陷检查，其中，所述缺陷检查用拍摄装置具备：光照射机构，其向膜的拍摄区域照射光；拍摄机构，其将膜的拍摄区域拍摄为二维图像；第一偏振滤波器，其以与膜形成正交偏振状态或者第一非正交偏振状态的方式，配置在光照射机构与膜的拍摄区域之间、或者膜的拍摄区域与拍摄机构之间；以及搬运机构，其相对于光照射机构、拍摄机构以及第一偏振滤波器沿搬运方向相对地搬运膜，拍摄区域包括在搬运方向上被分割出的第一拍摄区域以及第二拍摄区域，第一偏振滤波器配置在光照射机构与第一拍摄区域之间、或者第一拍摄区域与拍摄机构之间。另外，本专利技术的缺陷检查用拍摄方法使用具备光照射机构、拍摄机构、第一偏振滤波器、以及搬运机构的缺陷检查用拍摄装置进行用于检查具有偏振特性的膜的缺陷的拍摄，其中，所述缺陷检查用拍摄方法包括如下工序：第一偏振滤波器配置工序，将第一偏振滤波器以与膜形成正交偏振状态或者第一非正交偏振状态的方式，配置在光照射机构与膜的拍摄区域之间、或者膜的拍摄区域与拍摄机构之间；搬运工序，利用搬运机构相对于光照射机构、拍摄机构以及第一偏振滤波器沿搬运方向相对地搬运膜；光照射工序，利用光照射机构向膜的拍摄区域照射光；以及拍摄工序，利用拍摄机构将膜的拍摄区域拍摄为二维图像，拍摄区域包括在搬运方向上被分割出的第一拍摄区域以及第二拍摄区域，在第一偏振滤波器配置工序中，将第一偏振滤波器配置在光照射机构与第一拍摄区域之间、或者第一拍摄区域与拍摄机构之间。在此，正交偏振状态指的是，偏振滤波器的偏振轴(偏振吸收轴)与膜的偏振轴(偏振吸收轴)实质上正交的状态，即，偏振滤波器的偏振轴(偏振吸收轴)与膜的偏振轴(偏振吸收轴)以实质上90度的角度交叉的状态。另一方面，非正交偏振(日文：ハーフクロスニコル)状态指的是，偏振滤波器的偏振轴(偏振吸收轴)与膜的偏振轴(偏振吸收轴)实质不上正交而是交叉的状态，即，偏振滤波器的偏振轴(偏振吸收轴)与膜的偏振轴(偏振吸收轴)以实质上90度以外的角度交叉的状态。根据该缺陷检查用拍摄装置以及缺陷检查用拍摄方法，例如，由于第一偏振滤波器以与膜形成正交偏振状态的方式，配置在光照射机构与第一拍摄区域之间、或者第一拍摄区域与拍摄机构之间，拍摄机构将包括第一拍摄区域以及第二拍摄区域的拍摄区域拍摄为二维图像，因此能够同时拍摄第一拍摄区域的正交偏振透射检查用图像(或者正交偏振反射检查用图像)、第二拍摄区域的例如正透射检查用图像(或者正反射检查用图像)。即，能够整合正交偏振透射检查用拍摄系列(或者正交偏振反射检查用拍摄系列)和例如正透射检查用拍摄系列(或者正反射检查用拍摄系列)。其结果是，能够整合正交偏振透射检查系列(或者正交偏振反射检查系列)和例如正透射检查系列(或者正反射检查系列)，从而能够削减检查系列数。在上述的缺陷检查用拍摄装置的基础上，也可以采用如下方式，第一偏振滤波器配置在光照射机构与第一拍摄区域之间。另外，在上述的缺陷检查用拍摄方法的基础上，也可以采用如下方式，在第一偏振滤波器配置工序中，将第一偏振滤波器配置在光照射机构与第一拍摄区域之间。然而，在正交偏振透射检查用拍摄系列(或者正交偏振反射检查用拍摄系列)与例如正透射检查用拍摄系列(或者正反射检查用拍摄系列)中，适当的光的亮度值不同。因此，也可以采用如下方式，上述的缺陷检查用拍摄装置还具备亮度调节机构，该亮度调节机构调节照射至第一拍摄区域以及第二拍摄区域中的至少一方的光、或者透过第一拍摄区域以及第二拍摄区域中的至少一方或被第一拍摄区域以及第二拍摄区域中的至少一方反射的光的亮度值。由此，能够利用亮度调节机构调节照射至第一拍摄区域以及第二拍摄区域中的至少一方的光、或者透过第一拍摄区域以及第二拍摄区域中的至少一方或被第一拍摄区域以及第二拍摄区域中的至少一方射光的亮度值，因此能够在第一拍摄区域以及第二拍摄区域的拍摄中设定适当的光的亮度值，能够以与正交偏振透射检查用拍摄系列(或者正交偏振反射检查用拍摄系列)以及例如正透射检查用拍摄系列(或者正反射检查用拍摄系列)相应的光的亮度值进行检查。也可以是，上述的亮度调节机构调节照射至第二拍摄区域的光、或者透过第二拍摄区域或被第二拍摄区域反射的光的亮度值。有时正交偏振透射检查用拍摄系列(或者正交偏振反射检查用拍摄系列)的适当的光的亮度值较大，正透射检查用拍摄系列(或者正反射检查用拍摄系列)的适当的光的亮度值较小。在这种情况下，若如上述那样，采用亮度调节机构调节照射至第二拍摄区域的光、或者透过第二拍摄区域或被第二拍摄区域反射的光的亮度值的方式，例如通过从光照射机构输出较大的亮度值的光，能够使朝向用于进行正交偏振透射检查用拍摄系列(或者正交偏振反射检查用拍摄系列)的第一拍摄区域照射的光的亮度值较大，另一方面，能够利用亮度调节机构使照射至用于进行正透射检查用拍摄系列(或者正反射检查用拍摄系列)的第二拍摄区域的光、或者透过第二拍摄区域或被第二拍摄区域反射的光的亮度值较小。另外，也可以是，上述的亮度调节机构是配置在光照射机构与第二拍摄区域之间、或者第二拍摄区域与拍摄机构之间的衰减滤波器。另外，也可以是，上述的亮度调节机构配置于光照射机构，单独调节向第一拍摄区域照射的光的亮度值和向第二拍摄区本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种缺陷检查用拍摄装置，用于进行具有偏振特性的膜的缺陷检查，其中，所述缺陷检查用拍摄装置具备：光照射机构，其向所述膜的拍摄区域照射光；拍摄机构，其将所述膜的所述拍摄区域拍摄为二维图像；第一偏振滤波器，其以与所述膜形成正交偏振状态或者第一非正交偏振状态的方式，配置在所述光照射机构与所述膜的所述拍摄区域之间、或者所述膜的所述拍摄区域与所述拍摄机构之间；以及搬运机构，其相对于所述光照射机构、所述拍摄机构以及所述第一偏振滤波器沿搬运方向相对地搬运所述膜，所述拍摄区域包括在所述搬运方向上被分割出的第一拍摄区域以及第二拍摄区域，所述第一偏振滤波器配置在所述光照射机构与所述第一拍摄区域之间、或者所述第一拍摄区域与所述拍摄机构之间。

【技术特征摘要】
2015.12.15 JP 2015-244553;2015.12.15 JP 2015-244561.一种缺陷检查用拍摄装置，用于进行具有偏振特性的膜的缺陷检查，其中，所述缺陷检查用拍摄装置具备：光照射机构，其向所述膜的拍摄区域照射光；拍摄机构，其将所述膜的所述拍摄区域拍摄为二维图像；第一偏振滤波器，其以与所述膜形成正交偏振状态或者第一非正交偏振状态的方式，配置在所述光照射机构与所述膜的所述拍摄区域之间、或者所述膜的所述拍摄区域与所述拍摄机构之间；以及搬运机构，其相对于所述光照射机构、所述拍摄机构以及所述第一偏振滤波器沿搬运方向相对地搬运所述膜，所述拍摄区域包括在所述搬运方向上被分割出的第一拍摄区域以及第二拍摄区域，所述第一偏振滤波器配置在所述光照射机构与所述第一拍摄区域之间、或者所述第一拍摄区域与所述拍摄机构之间。2.根据权利要求1所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述第一偏振滤波器与所述膜形成正交偏振状态。3.根据权利要求2所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述缺陷检查用拍摄装置还具备亮度调节机构，该亮度调节机构调节照射至所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方的光、或者透过所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方或被所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方反射的光的亮度值。4.根据权利要求3所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述亮度调节机构调节照射至所述第二拍摄区域的光、或者透过所述第二拍摄区域或被所述第二拍摄区域反射的光的亮度值。5.根据权利要求4所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述亮度调节机构是配置在所述光照射机构与所述第二拍摄区域之间、或者所述第二拍摄区域与所述拍摄机构之间的衰减滤波器。6.根据权利要求3或4所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述亮度调节机构配置于所述光照射机构，单独调节向所述第一拍摄区域照射的光的亮度值和向所述第二拍摄区域照射的光的亮度值。7.根据权利要求1所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述第一偏振滤波器配置在所述光照射机构与所述第一拍摄区域之间。8.根据权利要求1所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述缺陷检查用拍摄装置还具备亮度调节机构，该亮度调节机构调节照射至所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方的光、或者透过所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方或被所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方反射的光的亮度值。9.根据权利要求8所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述第一偏振滤波器与所述膜的所述第一拍摄区域形成正交偏振状态，所述亮度调节机构包括第一亮度调节用偏振滤波器，该第一亮度调节用偏振滤波器以与所述膜的所述第二拍摄区域形成第一非正交偏振状态的方式，配置在所述光照射机构与所述第二拍摄区域之间、或者所述第二拍摄区域与所述拍摄机构之间。10.根据权利要求8所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述第一偏振滤波器与所述膜的所述第一拍摄区域形成第一非正交偏振状态，所述亮度调节机构是配置在所述光照射机构与所述第二拍摄区域之间、或者所述第二拍摄区域与所述拍摄机构之间的衰减滤波器。11.根据权利要求8所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述第一偏振滤波器与所述膜的所述第一拍摄区域形成第一非正交偏振状态，所述亮度调节机构配置于所述光照射机构，单独调节向所述第一拍摄区域照射的光的亮度值和向所述第二拍摄区域照射的光的亮度值。12.根据权利要求9所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述拍摄区域包括在所述搬运方向上被分割出的第三拍摄区域，所述亮度调节机构包括第二亮度调节用偏振滤波器且调节照射至所述第三拍摄区域的光的亮度值，该第二亮度调节用偏振滤波器以与所述膜的所述第三拍摄区域形成第二非正交偏振状态的方式，配置在所述光照射机构与所述第三拍摄区域之间、或者所述第三拍摄区域与所述拍摄机构之间。13.根据权利要求10或11所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述拍摄区域包括在所述搬运方向上被分割出的第三拍摄区域，所述缺陷检查用拍摄装置还具备第二偏振滤波器，该第二偏振滤波器配置在所述光照射机构与所述第三拍摄区域之间、或者所述第三拍摄区域与所述拍摄机构之间，且该第二偏振滤波器与所述膜的所述第三拍摄区域形成第二非正交偏振状态。14.根据权利要求8所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述第一偏振滤波器与所述膜的所述第一拍摄区域形成第一非正交偏振状态，所述亮度调节机构包括第一亮度调节用偏振滤波器，该第一亮度调节用偏振滤波器以与所述膜的所述第二拍摄区域形成第二非正交偏振状态的方式，配置在所述光照射机构与所述第二拍摄区域之间、或者所述第二拍摄区域与所述拍摄机构之间。15.一种缺陷检查用拍摄装置，用于进行不具有偏振特性的膜的缺陷检查，其中，所述缺陷检查用拍摄装置具备：光照射机构，其向所述膜的拍摄区域照射光；拍摄机构，其将所述膜的所述拍摄区域拍摄为二维图像；一对第一偏振滤波器，其以形成正交偏振状态或者第一非正交偏振状态的方式，分别配置在所述光照射机构与所述膜的所述拍摄区域之间、以及所述膜的所述拍摄区域与所述拍摄机构之间；以及搬运机构，其相对于所述光照射机构、所述拍摄机构以及一对所述第一偏振滤波器沿搬运方向相对地搬运所述膜，所述拍摄区域包括在所述搬运方向上被分割出的第一拍摄区域以及第二拍摄区域，一对所述第一偏振滤波器分别配置在所述光照射机构与所述第一拍摄区域之间、以及所述第一拍摄区域与所述拍摄机构之间。16.根据权利要求15所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，一对所述第一偏振滤波器形成正交偏振状态。17.根据权利要求16所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述缺陷检查用拍摄装置还具备亮度调节机构，该亮度调节机构调节照射至所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方的光、或者透过所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方或被所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方反射的光的亮度值。18.根据权利要求17所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述亮度调节机构调节照射至所述第二拍摄区域的光、或者透过所述第二拍摄区域或被所述第二拍摄区域反射的光的亮度值。19.根据权利要求18所述的缺陷检查用拍摄装置，其中，所述亮度调节机构是配置在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：尾崎麻耶，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP