The invention discloses a projection type infrared nondestructive detection device and method thin layer between internal defects, the device includes a flash light source, infrared imager, signal synchronization device, detection and computer, signal synchronization device is respectively connected with a flash light and computer, the infrared thermal imager are respectively connected with the computer and the signal the synchronization device is detected vertically placed between the infrared camera and flash light, and infrared camera parallel. The method uses the phenomenon that the defective part of the multilayer film is blocked by the pulse heating and the surface temperature caused by the partial heat flow of the defect free part passes smoothly, and the position and the size of the defect are recognized. The invention has the characteristics of rapid, nondestructive, real-time, low detection cost, its application in the electronic manufacturing field of microelectronics, micro electro mechanical and other information, can make the manufacturing cost and test cost is greatly reduced, the quality can be improved, and has broad application prospects.
【技术实现步骤摘要】
投射式无损检测薄膜层间内部缺陷的红外热像装置及方法
本专利技术属于微电子及微电子机械制造
,涉及一种新型的缺陷检测装置及方法,尤其涉及一种投射式无损检测双层及多层薄膜层间内部缺陷的红外热像装置及方法。
技术介绍
多层薄膜是信息电子制造领域中的薄膜器件、微电子器件、微电子机械(MEMS,)等的基本结构。其特点是由双层或多层薄膜以及薄的基板通过蒸镀、溅射、化学沉积、旋涂、粘接等工艺制成。在制备过程中膜和膜之间由于种种原因会出现微小缺陷,如气泡、脱层、裂纹、夹渣、异物等等。为了控制多层薄膜的质量,保证层间的牢固结合,需要随时检测缺陷的出现和形貌,以随时调整工艺;另外,为评估器件的可靠性,需要进行热老化、机械循环等测试,也需要随时检测层间的内部缺陷的产生和扩展。目前,这种检测都是破坏性的,例如随时采样、切片,然后在电子显微镜上进行观测。这种检测方法费时、费力,而且成本很高。
技术实现思路
为了解决现有薄膜器件、微电子、微电子机械等器件制备、检测过程中需要破坏性加工、费时长、成本高等的问题,本专利技术提供了一种具有快速、无损、实时、检测成本低特点的投射式无损检测薄膜层间内部缺陷的红外热像装置及方法,将其应用于微电子、微电子机械等信息电子制造领域,可以使制造成本、测试成本大幅降低,质量得以提高,在这些领域以及类似结构的制造领域具有广阔的应用前景。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的:一种投射式无损检测薄膜层间内部缺陷的红外热像装置,包括闪光光源、红外热像仪、信号同步装置、被检测件和计算机,信号同步装置分别与闪光光源和计算机连接,红外热像仪分别与计算机和信号同步装 ...
【技术保护点】
一种投射式无损检测薄膜层间内部缺陷的红外热像装置,其特征在于所述装置包括闪光光源、红外热像仪、信号同步装置、被检测件和计算机,信号同步装置分别与闪光光源和计算机连接,红外热像仪分别与计算机和信号同步装置连接,被检测件垂直放置在红外热像仪和闪光光源之间,并与红外热像仪的镜头平行。
【技术特征摘要】
1.一种投射式无损检测薄膜层间内部缺陷的红外热像装置,其特征在于所述装置包括闪光光源、红外热像仪、信号同步装置、被检测件和计算机,信号同步装置分别与闪光光源和计算机连接,红外热像仪分别与计算机和信号同步装置连接,被检测件垂直放置在红外热像仪和闪光光源之间,并与红外热像仪的镜头平行。2.根据权利要求1所述的投射式无损检测薄膜层间内部缺陷的红外热像装置,其特征在于所述被检测件的周围添加制冷装置。3.一种投射式无损检测薄膜层间内部缺陷的红外热像方法,其特征在于所述方法包括如下步骤:一、根据多层膜结构的热学材料特性初步计算脉冲时间常数和脉冲能量;二、调整闪光光源的脉冲时间与信号同步装置;三、将被检测件垂直放置在红外热像仪之前,保证被检测件与红外热像仪的镜头平行;四、闪光光源从被检测件背面脉冲快速照射被检测件,被检测件温度升高;五、被检测件温度...
【专利技术属性】
技术研发人员:王晓婷,王春青,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:黑龙江,23
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