The utility model discloses a wafer level packaging positioning mechanism comprises a first positioning mark is arranged on the first wafer to be positioned on the second; a positioning mark is arranged on the second to be positioned on the wafer; the first wafer and the second wafer parallel stacked, so that the location after the completion of the first positioning mark and the second location markers are coincident; the infrared light source to provide infrared signal; infrared detector to monitor through the first wafer and the second wafer infrared signal; image display system, image forming at least includes the first location and the second location markers according to the feedback signal of the infrared light infrared detector. The utility model can directly observe the real-time position of the first, second positioning mark through the infrared imaging, and the utility model has the advantages of no positioning hole and positioning pin structure, and the utility model has the advantages of high positioning efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆级封装定位机构
本技术涉及晶圆级封装
,具体涉及一种晶圆级封装定位机构。
技术介绍
晶圆级封装,是在晶圆上完成封装和测试,完成后再进行切割,具有生产效率高,生产成本低的优点。目前,晶圆级封装时,定位方式为在一块晶圆上留出通孔,通过移动,使得通孔与另一块晶圆上的对位标记定位,或者是需要在晶圆和器件上制作定位销,通过可见光CCD成像观察。在定位过程中,由于器件和晶圆的基底通常为对可见光不透明的硅、锗等材料,需要不停移动晶圆来定位;为了准确定位,要有多个定位标记,更增加了定位的难度,效率非常低下,难度特别高,所以主流的封装方式仍为器件对器件封装。器件对器件封装前,必须首先对晶圆进行切割,获得单个器件后再进行封装,晶圆的器件容积率降低,此种封装方式额外增加了工序,限制了生产效率,封装成本在整个工艺中占比最大。为了降低成本和提高生产效率,高效率的晶圆级封装非常必要,最重要的就是提高定位效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆级封装定位机构。为实现上述技术目的,本技术采用如下技术方案:一种晶圆级封装定位机构,包括:第一定位标记,设置于待定位的第一晶圆上;第二定位标记,设置于待定位的第二晶圆上;所述第一晶圆和所述第二晶圆平行层叠设置,以使定位完成后所述第一定位标记和所述第二定位标记呈重合状;红外光源,设置于所述第一晶圆和所述第二晶圆一侧,以提供红外光信号;红外探测器,设置于所述第一晶圆和所述第二晶圆另一侧,以监测透过所述第一晶圆和所述第二晶圆的红外光信号;图像显示系统,与所述红外探测器电性连接,以根据所述红外探测器反馈的红外光信号形成至少包括所述第一定位 ...
【技术保护点】
一种晶圆级封装定位机构,其特征在于,包括:第一定位标记,设置于待定位的第一晶圆上;第二定位标记,设置于待定位的第二晶圆上;所述第一晶圆和所述第二晶圆平行层叠设置,以使定位完成后所述第一定位标记和所述第二定位标记呈重合状;红外光源,设置于所述第一晶圆和所述第二晶圆一侧,以提供红外光信号;红外探测器,设置于所述第一晶圆和所述第二晶圆另一侧,以监测透过所述第一晶圆和所述第二晶圆的红外光信号;图像显示系统,与所述红外探测器电性连接,以根据所述红外探测器反馈的红外光信号形成至少包括所述第一定位标记和所述第二定位标记的图像。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆级封装定位机构,其特征在于,包括:第一定位标记,设置于待定位的第一晶圆上;第二定位标记,设置于待定位的第二晶圆上;所述第一晶圆和所述第二晶圆平行层叠设置,以使定位完成后所述第一定位标记和所述第二定位标记呈重合状;红外光源,设置于所述第一晶圆和所述第二晶圆一侧,以提供红外光信号;红外探测器,设置于所述第一晶圆和所述第二晶圆另一侧,以监测透过所述第一晶圆和所述第二晶圆的红外光信号;图像显示系统,与所述红外探测器电性连接,以根据所述红外探测器反...
【专利技术属性】
技术研发人员:周东平,
申请(专利权)人:上海晶鼎光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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