模具、模具的制造方法、防反射膜及防反射膜的制造方法技术

模具(100)的制造方法，包含以Al‑Mg‑Si系的铝合金形成的圆筒状的铝基材(12)且被施加机械性镜面加工的铝基材(12)的工序、铝基材(12)的表面通过碱性的蚀刻液缎纹处理的工序、其后通过在铝基材(12)的表面形成有无机材料层(16)，在无机材料层(16)上形成铝膜(18)以制作模具基材(10)的工序、以及针对于模具基材(10)的铝膜(18)交替地反复进行阳极氧化与蚀刻，形成具有多个的微凹部(14p)的被反转蛾眼构造的工序。

Mold, mold manufacturing method, antireflection film and method for manufacturing antireflection coating

(100) the mold manufacturing method, comprising a cylindrical aluminum substrate to form Aluminum Alloy Al Mg Si system (12) of the aluminum substrate and is applied to mechanical mirror machining process (12), (12) the surface of the aluminum substrate by alkaline etching solution process, then through satin in the aluminum substrate (12) is formed on the surface of the inorganic material layer (16), on the inorganic material layer (16) formed on the aluminum film (18) for the production of mold substrate (10), and the process for die substrate (10) aluminum film (18) alternately repeated anodic oxidation and etching the formation of micro concave, with multiple (14P) is reversed the moth eye structure process.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】模具、模具的制造方法、防反射膜及防反射膜的制造方法
本专利技术是关于模具、模具的制造方法、利用模具所制造的防反射膜、及防反射膜的制造方法。此处所说的「模具」，包含各种加工方法(冲压或铸造)所使用的模具，也被称为压模。另外，也可被用于印刷(包含纳米印刷)。
技术介绍
对使用在电视或便携式电话等的显示装置或摄像机镜头等的光学元件而言，通常为了降低表面反射且提高光的透射量而施加防反射技术。例如，如同光入射空气与玻璃的界面时，光通过折射率相异的介质的界面时，光的透射量因为菲涅耳反射等而减低，造成可视性降低。近几年，作为防反射技术，将凹凸的周期控制在可视光(λ＝380nm～780nm)的波长以下的微型凹凸图案形成在基板表面的方法持续受到关注(参照专利文献1到3)。构成表现防反射功能的凹凸图案的凸部的二维尺寸在10nm以上、未满500nm。在此，凸部的「二维尺寸」指的是，从表面的法线方向看时，凸部的面积圆当量径，例如凸部为圆锥形的时候，凸部的二维尺寸是相当于圆锥底面的直径。凹部的「二维尺寸」也一样。这个方法，也就是利用蛾眼(Moth-eye，蛾的眼)结构的原理，将相对于入射基板的光的折射率延着凹本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种模具的制造方法，包含：(a)准备以Al‑Mg‑Si系的铝合金形成圆筒状且被施加机械性镜面加工的铝基材的工序；(b)将所述铝基材的表面通过碱性的蚀刻液缎纹处理的工序；(c)于所述工序(b)之后，通过在所述铝基材的所述表面形成无机材料层，在所述无机材料层之上形成铝膜以制作模具基材的工序；(d)于所述工序(c)之后，通过使所述铝膜的表面阳极氧化，形成具有多个微凹部的多孔氧化铝层的工序；(e)于所述工序(d)之后，通过使所述多孔氧化铝层接触蚀刻液，扩大所述多孔氧化铝层的所述多个微凹部的工序；以及(f)于所述工序(e)之后，通过进一步阳极氧化，使所述多个微凹部成长的工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.21 JP 2014-2371601.一种模具的制造方法，包含：(a)准备以Al-Mg-Si系的铝合金形成圆筒状且被施加机械性镜面加工的铝基材的工序；(b)将所述铝基材的表面通过碱性的蚀刻液缎纹处理的工序；(c)于所述工序(b)之后，通过在所述铝基材的所述表面形成无机材料层，在所述无机材料层之上形成铝膜以制作模具基材的工序；(d)于所述工序(c)之后，通过使所述铝膜的表面阳极氧化，形成具有多个微凹部的多孔氧化铝层的工序；(e)于所述工序(d)之后，通过使所述多孔氧化铝层接触蚀刻液，扩大所述多孔氧化铝层的所述多个微凹部的工序；以及(f)于所述工序(e)之后，通过进一步阳极氧化，使所述多个微凹部成长的工序。2.如权利要求1所述的模具的制造方法，其特征在于，通过所述工序(b)，所述铝基材的所述表面的算术平均粗糙度Ra为50nm以上且200nm以下。3.如权利要求1或2所述的模具的制造方法，其特征在于，所述碱性的蚀刻液含有0.03mass％以上的无机盐基或有机盐基。4.如权利要求1至3中任一项所述的模具的制造方法，其特征在于，所述碱性的蚀刻液的pH值为9.5以上且11以下。5.如权利要求1至4中任一项所述的模具的制造方法，其特征在于，所述碱性的蚀刻液含有具有胺基的有机化合物。6.如权利要求1至5中任一项所述的模具的制造方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田美穗，箕浦洁，中原隆裕，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP