一种材料辐射致放气的在线测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元；所述真空腔室系统包括真空腔室、样品台、样品和法兰窗口，所述抽气系统包括：干式机械泵、磁悬浮分子泵、限流小孔、第一角阀、插板阀和第二角阀，所述供气系统包括：气源、第一截止阀、微调阀、第二截止阀和气体流量控制器。该装置结构简单，操作方便，且可对质谱仪和有效抽速进行校准，测试结果更为真实精确。

【技术实现步骤摘要】
一种材料辐射致放气的在线测试装置
本技术涉及测量
，尤其是涉及一种真空条件下材料辐射致放气的在线测试装置。
技术介绍
任何固体材料置于真空环境中都会解吸而放气，在卫星、飞船、空间和某些半导体等领域，真空材料由于受到光、热或电子束等的辐射而产生加速放气过程，放出的部分气体会恶化原有真空环境，致使一些光学元器件失效。精确分析真空辐射条件下材料的放气行为是评价材料真空性能的重要依据，包括准确获得辐射致放气量、放气组分和辐射致放气分量。中国已授权专利“一种双测试室测量材料放气率的装置和方法”，其公开号为CN101696923，如图1所示，包括高真空室(112)、超高真空室(102)、分离规(107)、超高真空角阀A(105)、超高真空角阀B(106)、直通阀A(110)和直通阀B(111)，双分子泵抽气系统(101)；还包括：对称的测试室A(108)和测试室B(109)。双分子泵抽气系统(101)与超高真空室(102)连接；超高真空室(102)与两个对称的测试室A(108)和测试室B(109)分别通过小孔相连通，小孔的直径范围5.7mm～14mm；分离规(107)桥接于超高真空室(10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括：真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元,其中,所述真空腔室系统包括一个真空腔室(1),所述真空腔室(1)内部放置待测样品(3)；所述辐射腔室系统与所述真空腔室系统通过法兰窗口(4)相连；所述抽气系统与所述真空腔室系统相连；所述供气系统与所述真空腔室系统相连，向所述真空腔室(1)通入各类气体；所述检测组件包括真空规(19)和质谱仪(20)；所述数控采集单元用于控制真空泵组、辐射源(6)和检测组件的开关，在线实时采集真空数据，对所采集的数据进行保存和计算。

【技术特征摘要】
1.一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括：真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元,其中,所述真空腔室系统包括一个真空腔室(1),所述真空腔室(1)内部放置待测样品(3)；所述辐射腔室系统与所述真空腔室系统通过法兰窗口(4)相连；所述抽气系统与所述真空腔室系统相连；所述供气系统与所述真空腔室系统相连，向所述真空腔室(1)通入各类气体；所述检测组件包括真空规(19)和质谱仪(20)；所述数控采集单元用于控制真空泵组、辐射源(6)和检测组件的开关，在线实时采集真空数据，对所采集的数据进行保存和计算。2.根据权利要求1所述的一种材料辐射致放气的在线测试装置，其特征在于，所述真空腔室系统包括：真空腔室(1)、样品台(2)、样品(3)和法兰窗口(4),样品台(2)固定在真空腔室(1)的一侧，而非抽气口上方，样品(3)放置在样品台(2)上，法兰窗口(4)在真空腔室(1)上。3.根据权利要求1所述的一种材料辐射致放气的在线测试装置，其特征在于，所述辐射腔室系统包括：辐射腔室(5)、辐射源(6)和辐射流(7),辐射源(6)置于辐射腔室(5)中，为光、热或电子束辐射，辐射流(7)透过法兰窗口(4)辐射到样品(3)上。4.根据权利要求1所述的一种材料辐射致放气的在线测试装置，其特征在于，所述抽气系统包括：干式机械泵(8)、磁悬浮分子泵(9)、限流小孔(10...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗艳，吴晓斌，王魁波，陈进新，谢婉露，张罗莎，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：新型
国别省市：北京,11