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本实用新型公开了一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元；所述真空腔室系统包括真空腔室、样品台、样品和法兰窗口，所述抽气系统包括：干式机械泵、磁悬浮分子泵、限流小孔...
该专利属于中国科学院光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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