【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种材料分压放气率测量装置，装置包括抽气泵组、超高真空室、两个测试室、两个质谱计、两个角阀和样品室，抽气泵组用于对超高真空室抽真空，样品室用于放置样品，两个测试室分别通过小孔与超高真空室连接，两个质谱计分别与所述超高真空室和第一测试室相连，两个测试室还分别通过两个角阀与样品室相连接。本技术能够动态、实时、准确地测量材料的分压放气率和总放气率。【专利说明】一种材料分压放气率测量装置
本技术涉及一种材料分压放气率测量装置，属于测量
。
技术介绍
固体材料在大气环境下能溶解、吸附一些气体，放置于真空环境中就会因解析等 过程而放气。在真空系统中，材料放出的气体会带来不可忽视的负面影响。特别地，对于极 紫外光刻机（EUVL)、太空望远镜等设备的研制，材料放出的碳氢化合物的分压放气率至关 重要。因此，材料放气率及其放气成分的分压放气率成为选用和评价真空材料的重要性能 指标。 中国专利CN101696923B的说明书中公开了一种双测试室测量材料放气率的装置 和方法。如图1所示，其包括抽气泵组101、超高真空室10...
【技术保护点】
一种材料分压放气率测量装置，包括抽气泵组(1)、超高真空室(2)和样品室(8)，所述抽气泵组(1)与超高真空室(2)直接连接，用于对所述超高真空室(2)抽真空，所述样品室(8)用于放置样品(9)；其特征在于：所述材料分压放气率测量装置还包括： 第一测试室(6a)，其通过第一小孔(4a)与所述超高真空室(2)连接； 第二测试室(6b)，其通过第二小孔(4b)与所述超高真空室(2)连接，第二测试室(6b)与所述第一测试室(6a)结构相同，位置对称； 第一质谱计(3)和第二质谱计(5)，其分别与所述超高真空室(2)和第一测试室(6a)相连接； 第一角阀(7a)和第二角阀(7b)，...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王魁波，吴晓斌，王宇，陈进新，罗艳，谢婉露，张罗莎，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：新型
国别省市：北京;11
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