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本实用新型公开了一种材料分压放气率测量装置，装置包括抽气泵组、超高真空室、两个测试室、两个质谱计、两个角阀和样品室，抽气泵组用于对超高真空室抽真空，样品室用于放置样品，两个测试室分别通过小孔与超高真空室连接，两个质谱计分别与所述超高真空室和...
该专利属于中国科学院光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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