转印装置及转印方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种转印装置及转印方法。该转印装置用辊构件进行按压来使两个板状体抵接，从而能够抑制使事先已对位的两个板状体相抵接时所产生的错位的影响。对准机构(71)安装于主机架(10)，对准载物台(36)安装在对准机构(71)上。在对准载物台(36)上经由装卸载物台(37)载置有下载物台部(3)、转印辊部(4)、辊移动驱动部(5)。保持于下载物台(31)的橡皮布(BL)和顶起橡皮布(BL)的转印辊(431)之间的位置关系不因对准调整而发生变动。因此，能够抑制随着橡皮布(BL)的弯曲量而大小发生变化的错位的影响。

Transfer device and transfer method

The present invention provides a transfer device and a transfer method. The transfer device is pressed by the roller member so as to prevent the two plates to be abutted so as to suppress the influence of the misalignment caused by the prior alignment of the two plate-like bodies. The alignment mechanism (71) is mounted on the main frame (10), and the alignment stage (36) is mounted on the alignment mechanism (71). At the alignment stage (36), a loading table (3), a transfer roller part (4) and a roller moving drive unit (5) are loaded through the loading and unloading table (37). The position relationship between the blanket (BL) and the transfer roller (431) of the blanket (BL) is not subject to adjustment by alignment adjustment between the table (31). Therefore, the effect of dislocation that varies with the amount of bending of the blanket (BL) can be suppressed.

【技术实现步骤摘要】
转印装置及转印方法
本专利技术涉及一种将两个板状体抵接而使被转印物从一板状体向另一板状体转印的转印技术。
技术介绍
作为在玻璃基板或者半导体基板等板状体上形成图案或者薄膜的技术，有一种将两个板状体彼此抵接而将承载于一板状体的主表面的图案或者薄膜等被转印物转印到另一板状体的技术。其中一个方法是，利用辊(roller)等，对中间夹有被转印物且接近地对置的两个板状体中的一板状体进行按压，使两个板状体紧贴而转印被转印物的方法。例如，在本申请人先前公开的专利文献1记载的技术中，承载图案的橡皮布(blanket)载置于中央部开口的画框状的载物台，并且转印辊从下部面侧按压面向开口部的橡皮布。由此，橡皮布按压于与之对置的基板，从而转印图案。在该转印装置中，用于支撑橡皮布的载物台能够进行水平移动，能够利用该功能实施橡皮布和基板之间的对位(对准)。专利文献1：日本特开2014-184716号公报上述的现有技术中，在支撑载物台的对准载物台和基架(baseframe)之间设置有用于进行对准的可动机构。另一方面，用于支撑并移动转印辊的机构安装于基架。因此，在进行对准调整中载物台移动时，载物台和转印辊之间的相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种转印装置，其中，包括：第一保持单元，将第一板状体以下部面开放的状态且以水平姿势保持；第二保持单元，以保持第二板状体的周缘部，并且上述第二板状体的上部面与上述第一板状体的下部面接近地对置的状态，且以上述第二板状体的下部面中的在上部面侧与上述第一板状体对置的中央部开放的状态，保持上述第二板状体；按压单元，具有辊构件和按压机构，上述辊构件在沿着上述第二板状体的下部面的轴向上延伸设置，上述按压机构使上述辊构件一边与上述第二板状体的下部面相抵接并使上述第二板状体按压于上述第一板状体，一边在与上述轴向正交的移动方向上移动；以及对准单元，具有支撑上述第二保持单元和上述按压单元的基座部，上述基座部在水平方...

【技术特征摘要】
2015.12.16 JP 2015-2453601.一种转印装置，其中，包括：第一保持单元，将第一板状体以下部面开放的状态且以水平姿势保持；第二保持单元，以保持第二板状体的周缘部，并且上述第二板状体的上部面与上述第一板状体的下部面接近地对置的状态，且以上述第二板状体的下部面中的在上部面侧与上述第一板状体对置的中央部开放的状态，保持上述第二板状体；按压单元，具有辊构件和按压机构，上述辊构件在沿着上述第二板状体的下部面的轴向上延伸设置，上述按压机构使上述辊构件一边与上述第二板状体的下部面相抵接并使上述第二板状体按压于上述第一板状体，一边在与上述轴向正交的移动方向上移动；以及对准单元，具有支撑上述第二保持单元和上述按压单元的基座部，上述基座部在水平方向上移动而使上述第二保持单元和上述按压单元一体地相对于上述第一保持单元进行相对移动，由此进行上述第一板状体和上述第二板状体的对准。2.根据权利要求1所述的转印装置，其中，还包括：辅助支撑构件，与上述第二板状体的上述中央部相抵接以支撑上述第二板状体；以及升降机构，使上述辅助支撑构件升降；上述辅助支撑构件与上述辊构件抵接之前的上述第二板状体相抵接，在上述辊构件与上述第二板状体抵接之后，上述升降构件使上述辅助支撑部下降而从上述第二板状体分离。3.根据权利要求2所述的转印装置，其中，第二保持单元具有上部面为在中央具有开口的水平的支撑面的载物台，上述载物台将上述第二板状体的下部面周缘部与上述支撑面相抵接，另一方面将上述第二板状体的上述中央部面向上述开口，由此支撑上述第二板状体，上述升降机构将上述辅助支撑构件的上端部定位在与上述支撑面相同的高度，并使上述辅助支撑构件与上述第二板状体相抵接。4.根据权利要求2或3所述的转印装置，其中，多个上述辅助支撑构件沿着上述移动方向排列，各个上述辅助支撑构件在上端部具有以上述轴向为长度方向的带状的抵接面。5.根据权利要求1至3中任一项所述的转印装置，其中，上述按压机构具有：移动构件，在上述移动方向上进行移动；辊支撑部，将上...

【专利技术属性】
技术研发人员：正司和大，梶野一树，增市干雄，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP