线性电动机装置、线性电动机装置的控制方法制造方法及图纸

一种线性电动机装置具备：线性电动机；和使该线性电动机的可动元件移动来对加压对象物施加压力的控制部。控制部基于位置控制，使可动元件以预先确定的第1速度朝向加压对象物移动之后，在可动元件对加压对象物开始施加压力时，进行使可动元件减速至比第1速度慢且施加到加压对象物的压力变为规定的压力以下的第2速度来移动的控制，使可动元件移动直到流过线性电动机的电流变为预先确定的电流限制值以上为止。

Linear motor device and control method of linear motor device

A linear motor device includes a linear motor; and a control unit that moves the movable element of the linear motor to exert pressure on the pressurized object. Control based on position control, the movable element in a predetermined speed toward the first pressurized object movement in the movable element to exert pressure on the pressure to the object, the movable element to control the deceleration than the first speed and pressure applied to the object under pressure into the specified pressure second speed to move the current flowing through the movable element of the linear motor until moving into current over a predetermined limit so far.

【技术实现步骤摘要】
线性电动机装置、线性电动机装置的控制方法本申请是国际申请日为2012年12月5日、国家申请号为201280059857.X的专利技术申请的分案申请，该申请的专利技术创造名称为线性电动机装置、线性电动机装置的控制方法。
本专利技术涉及线性电动机装置、线性电动机装置的控制方法。本申请基于2011年12月7日在日本申请的特愿2011-267938号及2012年11月9日在日本申请的特愿2012-247400号主张优先权，并在此援引其内容。
技术介绍
在基板上安装电子部件等工件时，使用向基板按压工件的工作装置。在这种工作装置中，作为按压工件的手段，使用线性电动机等(专利文献1)。在这种工作装置中，为了向基板可靠地安装工件，需要以一定值以上的负荷(压力)按压工件。此时，为了防止工件和基板的破损，要求使负荷尽量小。在工作装置中，要求高精度地控制相对于工件的负荷。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2009-194015号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题专利文献1记载的技术使用测量相对于工件的负荷的负荷检测器，基于从负荷检测器得到的信息，进行对线性电动机的控制。因此，在负荷检测器的安装位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线性电动机装置，其中，具备：线性电动机；和使该线性电动机的可动元件移动来对加压对象物施加压力的控制部，其中，所述控制部，基于位置控制使所述可动元件以预先确定的第1速度朝向所述加压对象物移动之后，在所述可动元件对所述加压对象物开始施加压力时，进行使所述可动元件减速至比所述第1速度慢且施加到所述加压对象物的压力变为规定的压力以下的第2速度来移动的控制，使所述可动元件以所述第2速度移动直到在所述线性电动机中流动的电流变为预先确定的电流限制值以上为止，所述控制部还具备电角校正部，该电角校正部基于施加到所述加压对象物的负荷与所述线性电动机的最大推力之比，校正与所述可动元件的磁极位置对应的电角，基于所...

【技术特征摘要】
2011.12.07 JP 2011-267938;2012.11.09 JP 2012-247401.一种线性电动机装置，其中，具备：线性电动机；和使该线性电动机的可动元件移动来对加压对象物施加压力的控制部，其中，所述控制部，基于位置控制使所述可动元件以预先确定的第1速度朝向所述加压对象物移动之后，在所述可动元件对所述加压对象物开始施加压力时，进行使所述可动元件减速至比所述第1速度慢且施加到所述加压对象物的压力变为规定的压力以下的第2速度来移动的控制，使所述可动元件以所述第2速度移动直到在所述线性电动机中流动的电流变为预先确定的电流限制值以上为止，所述控制部还具备电角校正部，该电角校正部基于施加到所述加压对象物的负荷与所述线性电动机的最大推力之比，校正与所述可动元件的磁极位置对应的电角，基于所述电角校正部校正后的电角来使所述可动元件移动。2.根据权利要求1所述的线性电动机装置，其中，所述电角校正部在所述可动元件移动的速度变为所述第2速度以下时校正电角。3.根据权利要求1所述的线性电动机装置，所述控制部在开始从所述第1速度到所述第2速度的减速之后，将控制增益切换到值比使所述可动元件以所述第1速度移动时所使用的控制增益大的控制增益。4.根据权利要求1所述的线性电动机装置，其中，所述控制部具备：速度切换位置决定部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山中修平，野村祐树，
申请(专利权)人：THK株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP