The utility model discloses a modular chemicals rapid filling system, comprising a first body and second body; a plurality of pump set the first cabinet, feed inlet and a discharge hole of the pump body through the feeding pipe and the first surface of the cabinet of the feed pump and pump outlet joint joint is communicated; a side opening of the filling box set second cabinet, filling box is arranged on the upper end of the fan filter unit is communicated with the inner cavity of the box filling, the filling box is arranged on the bottom surface of the air outlet side, second cabinet is arranged corresponding to the cabinet door and the filling opening box, filling the tank wall is provided with a plurality of connected with the filling gun the joint filling, filling joint communicated with the joint surface of the first feeding cabinet through the feeding pipe, the feeding and discharging pump joint through the pipe joint is communicated. The modular quick filling system for various chemicals has simple and compact structure, and connects the first cabinet body and the second cabinet body by pipelines, and the filling system is more modular and convenient to use.
【技术实现步骤摘要】
一种模块化多种化学品快速灌装系统
本技术涉及灌装设备
,具体涉及一种模块化多种化学品快速灌装系统。
技术介绍
高纯电子化学品的灌装需要在净化空间中进行,以尽可能降低引入杂质的几率。现有技术中灌装需要借助小车来完成,小车上装配有与待灌装的化学品对应的泵、灌装枪和风机过滤机组,对于非储罐式多种化学品的结晶灌装而言,就需要配备多个灌装小车。上述灌装装置的缺陷在于设备占地面积大,结构不紧凑。而且,实际生产中,化学品的泵体还可以单独应用于化学品的转移等,灌装小车上泵体的拆装不便,泵体的转移也会增加误操作导致泵体损坏的概率。因此,有必要对现有技术中的灌装设备进行结构改进。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺陷,提供一种结构紧凑、使用方便的模块化多种化学品快速灌装系统。为实现上述技术效果,本技术的技术方案为:一种模块化多种化学品快速灌装系统,其特征在于,包括第一柜体和第二柜体;第一柜体内设置有若干个泵体,泵体的进料口和出料口分别通过料管与第一柜体表面的泵进料接头和泵出料接头相通;第二柜体内设置有一侧面开口的灌装箱,灌装箱上端设置有与灌装箱内腔相通的风机过滤机组,灌装箱的底面设置有排风口,第二柜体的侧面设置有与灌装箱开口相对应的柜门,灌装箱壁上设置有若干个与灌装枪相连的灌装接头,灌装接头通过料管与第一柜体表面的入料接头连通,入料接头与泵出料接头通过管路相通。更进一步的,可以在第一柜体中设置水平隔板和竖向隔板,将第一柜体的储物空间扩大,能放置更多种类化学品对应的泵。为了避免料管中的化学品回流,可以在料管或者接头处设置单向阀。第一柜体的化学品泵与第二柜体的灌装 ...
【技术保护点】
一种模块化多种化学品快速灌装系统,其特征在于,包括第一柜体和第二柜体;第一柜体内设置有若干个泵体,泵体的进料口和出料口分别通过料管与第一柜体表面的泵进料接头和泵出料接头相通;第二柜体内设置有一侧面开口的灌装箱,灌装箱上端设置有与灌装箱内腔相通的风机过滤机组,灌装箱的底面设置有排风口,第二柜体的侧面设置有与灌装箱开口相对应的柜门,灌装箱壁上设置有若干个与灌装枪相连的灌装接头,灌装接头通过料管与第一柜体表面的入料接头连通,入料接头与泵出料接头通过管路相通。
【技术特征摘要】
1.一种模块化多种化学品快速灌装系统,其特征在于,包括第一柜体和第二柜体;第一柜体内设置有若干个泵体,泵体的进料口和出料口分别通过料管与第一柜体表面的泵进料接头和泵出料接头相通;第二柜体内设置有一侧面开口的灌装箱,灌装箱上端设置有与灌装箱内腔相通的风机过滤机组,灌装箱的底面设置有排风口,第二柜体的侧面设置有与灌装箱开口相对应的柜门,灌装箱壁上设置有若干个与灌装枪相连的灌装接头,灌装接头通过料管与第一柜体表面的入料接头连通,入料接头与泵出料接头通过管路相通。2.根据权利要求1所述的模块化多种化学品快速灌装系统,其特征在于,所述第一柜体和第二柜体下方分别设置有脚轮,所述第一柜体和/或第二柜体的...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱永刚,殷福华,
申请(专利权)人:江阴江化微电子材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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