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本实用新型公开了一种模块化多种化学品快速灌装系统,包括第一柜体和第二柜体;第一柜体内设置有若干个泵体,泵体的进料口和出料口分别通过料管与第一柜体表面的泵进料接头和泵出料接头相通;第二柜体内设置有一侧面开口的灌装箱,灌装箱上端设置有与灌装箱内...该专利属于江阴江化微电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴江化微电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种模块化多种化学品快速灌装系统,包括第一柜体和第二柜体;第一柜体内设置有若干个泵体,泵体的进料口和出料口分别通过料管与第一柜体表面的泵进料接头和泵出料接头相通;第二柜体内设置有一侧面开口的灌装箱,灌装箱上端设置有与灌装箱内...