用于抛光设备中的供液装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于抛光设备中的供液装置，包括：供液管路，用于在抛光设备进行抛光操作时，为抛光设备的抛光盘进行供液；第一支撑部，第一支撑部的一端指向抛光盘方向，第一支撑部用于支撑供液管路；第二支撑部，第二支撑部的一端与第一支撑部的另一端相连，第二支撑部具有可移动组件，第二支撑部通过可移动组件在抛光设备中的挡板上可移动。由此，第二支撑部通过可移动组件在挡板上进行移动，可以带动第一支撑部沿着挡板进行移动，从而可以带动供液管路沿着挡板进行移动，进而使得抛光液落点可以调节到抛光盘的任意位置，扩大了供液位置的可调节范围。

Liquid supply device for polishing equipment

The invention discloses a liquid supply device, polishing apparatus includes a liquid supply pipe, used for polishing operation in polishing equipment, for liquid for polishing and polishing equipment; the first support part, one end of the first supporting part points to the polishing direction, a first support portion for supporting the liquid supply pipe second; the supporting part, the other end of the second supporting part connected with one end of the first supporting part and second supporting parts with a movable component, second supporting parts through the baffle capable of moving components in polishing device on mobile. Thus, the second supporting part through the movable component moving on the baffle plate, can drive the first support portion moves along the baffle, which can drive the liquid supply pipe along the baffle to move any position which makes the polishing liquid placement can be adjusted to the polishing disk, enlarge the adjustable range of liquid position.

【技术实现步骤摘要】
用于抛光设备中的供液装置
本专利技术涉及抛光设备
，尤其涉及一种用于抛光设备中的供液装置。
技术介绍
目前，在抛光设备在进行抛光工艺操作时，可通过该抛光设备中的供液装置对抛光盘进行供液，以使抛光液通过供液装置滴落在抛光盘上。相关技术中，该供液装置通常是采用固定在某一点，旋转移动供液管路以调节供液位置。例如，如图1所示，该供液装置100固定某一点，该固定点与抛光盘200具有一定的距离，其中，供液装置100通过轴承300进行左右旋转移动来调节对抛光盘200的供液位置。然而，通过这种轴承方式来移动供液装置以实现供液位置的调节，由于只能对供液装置进行左右方向的移动，导致供液装置的可调范围有限。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在至少在一定程度上解决上述的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种用于抛光设备中的供液装置。该供液装置可以扩大供液位置的可调节范围。为达到上述目的，本专利技术一方面实施例提出的用于抛光设备中的供液装置，包括：供液管路，用于在所述抛光设备进行抛光操作时，为所述抛光设备的抛光盘进行供液；第一支撑部，所述第一支撑部的一端指向所述抛光盘方向，所述第一支撑部用于支本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于抛光设备中的供液装置，其特征在于，包括：供液管路，用于在所述抛光设备进行抛光操作时，为所述抛光设备的抛光盘进行供液；第一支撑部，所述第一支撑部的一端指向所述抛光盘方向，所述第一支撑部用于支撑所述供液管路；第二支撑部，所述第二支撑部的一端与所述第一支撑部的另一端相连，所述第二支撑部具有可移动组件，所述第二支撑部通过所述可移动组件在所述抛光设备中的挡板上可移动。

【技术特征摘要】
1.一种用于抛光设备中的供液装置，其特征在于，包括：供液管路，用于在所述抛光设备进行抛光操作时，为所述抛光设备的抛光盘进行供液；第一支撑部，所述第一支撑部的一端指向所述抛光盘方向，所述第一支撑部用于支撑所述供液管路；第二支撑部，所述第二支撑部的一端与所述第一支撑部的另一端相连，所述第二支撑部具有可移动组件，所述第二支撑部通过所述可移动组件在所述抛光设备中的挡板上可移动。2.如权利要求1所述的供液装置，其特征在于，还包括：伸缩架；其中，所述伸缩架包括：第一结构，所述第一结构与所述第一支撑部的形状一致，所述第一结构用于固定所述供液管路；第二结构，所述第二结构与所述第一结构一体成型为T型，其中，所述第二结构开腰形槽，且所述第二结构通过调整螺丝与所述第一支撑部相连，并通过所述调整螺丝对所述第一结构与所述第一支撑部之间的距离进行调节。3.如权利要求2所述的供液装置，其特征在于，还包括：第一固定装置，所述第一固定装置设置于第一支撑部之上，所述第一固定装置用于将经过所述第一支撑部上的供液管路进行固定；第...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵慧佳，路新春，沈攀，
申请(专利权)人：天津华海清科机电科技有限公司，清华大学，
类型：发明
国别省市：天津,12