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本发明公开了一种用于抛光设备中的供液装置，包括：供液管路，用于在抛光设备进行抛光操作时，为抛光设备的抛光盘进行供液；第一支撑部，第一支撑部的一端指向抛光盘方向，第一支撑部用于支撑供液管路；第二支撑部，第二支撑部的一端与第一支撑部的另一端相连...
该专利属于天津华海清科机电科技有限公司;清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津华海清科机电科技有限公司;清华大学授权不得商用。

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