The utility model discloses a single scan drive shaft movable prism optical direct write lithography equipment, belonging to the technical field. The utility model has the advantages of single scan drive shaft movable prism optical direct writing equipment, mainly for the vacuum suction structure is improved and effective solution to the production of small suction due to leakage caused by insufficient problem. Furthermore, the distribution of the air holes on the sucker is sparse and four, so that the edge of the edge of the board is effectively eliminated, and the number of pores is saved, and the cost is reduced.
【技术实现步骤摘要】
一种单扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备
本技术涉及一种单扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备,属于直写曝光
技术介绍
PCB(印刷电路板)是电子元器件的支撑体,同时也是电子元器件电气连接的载体。常见的PCB生产设备有传统的曝光机、多棱镜结构激光直写曝光机、DMD结构激光直写曝光机等。激光直写曝光机可以直接将图像在PCB板上成像,相对于传统的曝光机,不需要用到菲林,形成的图像更清晰。随着市场对PCB板的功能要求越来越高,PCB板也变得越来越复杂,系统兼容性越高,有时候需要尺寸很大的基板,但是,对于尺寸大于48英寸的超大板,现有技术中还没有可以高质量加工的技术和设备。传统的曝光机可以生产超大板,但是其加工精度差,达不到高密度、细间距的要求。目前激光直写设备所能曝光的电路板最大尺寸(610×530),随着电路板的尺寸的加大,将会导致设备外形尺寸变大,影响拼接精度以及对位精度,导致良品率下降。如果通过增大吸盘可曝光的尺寸的方法来制备激光直写曝光机,由于所需的真空吸盘尺寸是比较大的,有时会超过55英寸,会存在如下问题:(1)当所曝光的PCB板实际尺寸较小时,而吸盘结构支持较大的真空范围,对于没有覆盖板子的区域,会产生漏气,影响吸盘对基板的吸附;(2)由于基板运输过程中可能会有边角翘起,若真空吸力不够,吸盘无法将板子吸平,会影响到曝光PCB板的质量,可造成基板报废。为解决这一问题,目前的方法有三种:方法一:直接无视该问题,但会对客户工厂PCB板要求很高,板子不平时,会来来回回对板子进行手动弯折,严重影响生产效率。方法二:针对不同尺寸的板子,设计不同的吸盘垫板 ...
【技术保护点】
一种单扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备,其特征在于,所述单扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备包括底座、多棱镜光路、步进驱动轴、连接板、真空吸盘、一个运动组件、相机;所述运动组件包括一个扫描驱动Y轴和一个升降驱动Z轴;真空吸盘位于运动组件上方;所述多棱镜光路通过连接板与步进驱动轴连接;所述真空吸盘包括吸盘主体和真空发生装置;吸盘主体上以行和列的形式分布一定数量的气孔,每一行气孔各对应一个继电器,每一列气孔也各对应一个继电器;每个气孔与真空发生装置之间连接有气孔开关;气孔开关同时与该气孔所在行的继电器和该气孔所在列的继电器连接;所述气孔在吸盘主体上呈中间疏、四周密的分布形式。
【技术特征摘要】
1.一种单扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备,其特征在于,所述单扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备包括底座、多棱镜光路、步进驱动轴、连接板、真空吸盘、一个运动组件、相机;所述运动组件包括一个扫描驱动Y轴和一个升降驱动Z轴;真空吸盘位于运动组件上方;所述多棱镜光路通过连接板与步进驱动轴连接;所述真空吸盘包括吸盘主体和真空发生装置;吸盘主体上以行和列的形式分布一定数量的气孔,每一行气孔各对应一个继电器,每一列气孔也各对应一个继电器;每个气孔与真空发生装置之间连接有气孔开关;气孔开关同时与该气孔所在行的继电器和该气孔所在列的继电器连接;所述气孔在吸盘主体上呈中间疏、四周密的分布形式。2.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈小宏,赵华,
申请(专利权)人:无锡影速半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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