取样量测系统及其取样量测方法技术方案

一种取样量测系统及其取样量测方法，本发明专利技术通过预先设定第一量测方案和第二量测方案，所述第一量测方案中取样率大于所述第二量测方案中的取样率，在判断所述批次在制品是高风险批次在制品，并且判断量测产能充足时，采用取样率较大的第一量测方案，能够及时了解工艺表现，降低产品报废率，提高制造良品率；在判断所述批次在制品不是高风险批次在制品，或者判断量测产能不足时，采用取样率较小的第二量测方案，以缩短产品生产周期。因此本发明专利技术可以基于所述批次在制品的量测信息，对所述批次在制品进行工艺风险评估。根据所述批次在制品的工艺风险高低，选择采用不同采样率的量测方案，能够兼顾缩短产品生产周期和及时反馈工艺表现的要求。

【技术实现步骤摘要】
取样量测系统及其取样量测方法
本专利技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种取样量测系统及其取样量测方法。
技术介绍
随着器件尺寸的减小，半导体集成电路制造过程的复杂性不断提高，同时工业竞争的压力使产品走向市场的时间越来越重要。因此对于半导体集成电路产品生产周期(CycleTime)和生产成本的控制对于晶圆代工厂(FAB)而言至关重要。因此采用科学有效的工艺管控方法以帮助快速侦测并改进异常工艺表现对于晶圆代工厂而言是非常有价值的。在半导体集成电路的制造过程中，工艺流程中的工序有很多种类，包括制造工序和量测工序，其中量测工序的目的是对在制的晶圆(Wafer)进行量测并分析量测数据，以检验生产制造过程中的晶圆是否符合质量要求，并监控晶圆生产过程是否正常。通过在量测工序中采用高效的取样方案能够快速检测工艺偏离，及时了解工艺表现，以采取优质的改进和预防措施。高效的取样量测系统能够有效提高制造过程的良品率、降低产品报废率、改善机台利用率。但是现有技术中的取样量测系统往往存在调整滞后性，造成资源浪费。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种采用量测系统及其取样量测方法，以及时反馈工艺问题，避免资源本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种取样量测方法，其特征在于，包括：获取批次在制品，并根据所述批次在制品获取所述批次在制品的量测信息；基于所述批次在制品的量测信息，对所述批次在制品进行工艺风险评估，以判断所述批次在制品是否为高风险批次在制品；在判断所述批次在制品是高风险批次在制品时，判断量测产能是否充足；在判断所述量测产能充足时，采用预设的第一量测方案；在判断所述量测产能不足时，采用所述第二量测方案；在判断所述批次在制品不是高风险批次在制品时，采用预设的第二量测方案；所述第一量测方案中取样率大于所述第二量测方案中的取样率。

【技术特征摘要】
1.一种取样量测方法，其特征在于，包括：获取批次在制品，并根据所述批次在制品获取所述批次在制品的量测信息；基于所述批次在制品的量测信息，对所述批次在制品进行工艺风险评估，以判断所述批次在制品是否为高风险批次在制品；在判断所述批次在制品是高风险批次在制品时，判断量测产能是否充足；在判断所述量测产能充足时，采用预设的第一量测方案；在判断所述量测产能不足时，采用所述第二量测方案；在判断所述批次在制品不是高风险批次在制品时，采用预设的第二量测方案；所述第一量测方案中取样率大于所述第二量测方案中的取样率。2.如权利要求1所述的取样量测方法，其特征在于，获取所述批次在制品的步骤之前，所述取样量测方法还包括：获取并存储历史量测数据、历史异常数据以及暂存量测数据，所述历史异常数据包括异常发生次数和异常影响片数，所述暂存量测数据为预设数量批次在制品的量测数据。3.如权利要求2所述的取样量测方法，其特征在于，所述量测信息包括影响因子触发信号、实时量测数据和关键工艺信息，对所述批次在制品进行工艺风险评估的步骤包括：根据所述影响因子触发信号判断所述批次在制品的工艺流程中是否存在工艺影响因子，在所述批次在制品的工艺流程中存在工艺影响因子时，判断所述批次在制品为高风险批次在制品；在所述批次在制品的工艺流程中不存在工艺影响因子时，根据历史量测数据、历史异常数据以及暂存量测数据，结合所述实时量测数据和关键工艺信息，评价所述批次在制品工艺流程的工艺能力，判断所述批次在制品是否为高风险批次在制品。4.如权利要求3所述的取样量测方法，其特征在于，评价所述批次在制品工艺流程的工艺能力的步骤包括：根据所述实时量测数据和暂存量测数据，获得实时工艺能力指数；根据所述历史量测数据和历史异常数据，结合关键工艺信息，获得参考工艺能力指数；比较所述实时工艺能力指数和参考工艺能力指数的相对大小，以评价所述批次在制品工艺流程的工艺能力。5.如权利要求4所述的取样量测方法，其特征在于，获得参考工艺能力指数的步骤包括：根据所述关键工艺信息，设定工艺权重因子，所述工艺权重因子用于表示与所述实时量测数据相对应的工艺是否为关键工艺；根据所述异常发生次数，设定次数权重因子，所述次数权重因子用于表示所述批次在制品制造过程中发生异常情况的次数对所述工艺能力的影响；根据所述异常影响片数，设定片数权重因子，所述片数权重因子用于表征所述批次在制品制造过程中异常情况发生影响晶圆片数对所述工艺能力的影响；根据所述工艺权重因子、所述次数权重因子以及所述片数权重因子，获得工艺能力调整因子；根据所述历史量测数据获得历史工艺能力指数；根据所述工艺能力调整因子和所述历史工艺能力指数，获得参考工艺能力指数，所述参考工艺能力指数用于评价所述批次在制品工艺流程的工艺能力。6.如权利要求1所述的取样量测方法，其特征在于，判断量测产能是否充足的步骤包括：获取待量测的批次在制品的排队长度；比较所述排队长度与产能预设值的相对大小；在所述排队长度大于所述产能预设值时，判断所述量测产能不足；在所述排队长度小于所述产能预设值时，判断所述量测产能充足。7.如权利要求2所述的取样量测方法，其特征在于，获取暂存量测数据的步骤包括：设定暂存量测数据的批次数量；对所述批次数量的批次在制品进行量测，获得实时量测数据，作为暂存量测数据。8.如权利要求7所述的取样量测方法，其特征在于，所述取样量测方法用于对同类批次在制品进行取样量测；对所述批次数量的批次在制品进行量测的步骤包括：对所述同类批次在制品最先的批次数量在制品进行逐个量测，以获得所述暂存量测数据。9.如权利要求8所述的取样量测方法，其特征在于，获得所述暂存量测数据的步骤还包括根据所述实时量测数据对所述暂存量测数据进行更新。10.如权利要求1所述的取样量测方法，其特征在于，在采用预设的第一量测方案时，所述量测方法还包括：产生提醒信号。11.一种取样量测系统，其特征在于，包括：获取装置，用于获取批次在制品，并根据所述批次在制品，获得所述批次在制品的量测信息；风险评估装置，与所述获取装置相连，用于获取所述批次在制品的量测信息；用于存储历史量测数据、历史异常数据以及暂存量测数据；所述风险评估装置还用于基于所述批次在制品的量测信息，结合历史量测数据、历史异常数据以及暂存量测数据，对所述批次在制品进行工艺风险评估，以判断所述批次在制品是否为高风险批次在制品；方案选择装置，用于存储预先设置的第一量测方案或第二量测方案，所述第一量测方案中取样率大于所述第二量测方案中的取样率；与所述风险评估装置相连，用于获取所述风险评估装置对所述批次在制品工艺风险的评估结果；所述方案选择装置用于在判断所述批次在制品是高风险批次在制品时，判断量测产能是否充足，在判断所述量测产能充足时，采用所述第一量测方案；在判断所述量测产能不足时，采用所述第二量测方案；所述方案选择装置还用于在判断所述批次在制品不是高风险批次在制品时，选择采用所述第二量测方案。12.如权利要求11所述的取样量测系统，其特征在于，所述获取装置还用于获得历史量测数据、历史异常数据以及暂存量测数据；所述风险评估装置与所述获取装置相连，用于存储所述获取装置获得的所述历史量测数据、历史异常数据...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈彧，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31