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一种取样量测系统及其取样量测方法，本发明通过预先设定第一量测方案和第二量测方案，所述第一量测方案中取样率大于所述第二量测方案中的取样率，在判断所述批次在制品是高风险批次在制品，并且判断量测产能充足时，采用取样率较大的第一量测方案，能够及时了...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。