A method of manufacturing an electro deposited abrasive tool capable of producing proper self sharpening in machining difficult materials such as a sapphire substrate. An electrodeposition tool (1) the manufacturing method of the electrodeposited abrasives (1) manufacturing method includes the following steps: forming abrasive process, the base station in the form of a ring containing aluminium, the material (4) formed by porous structure of the coating and coating of abrasive particles dispersed in a grinding Department (36); base station removal process, a part of the action of the liquid medicine to the base of the Ministry of abrasives overlap with the base station is part of the removal; and a protective layer forming step before the step of forming the abrasive, the protective layer is formed on the surface of the base station (16), the protection of relative to the liquid layer for protection base coating.
【技术实现步骤摘要】
电沉积磨具的制造方法
本专利技术涉及电沉积磨具的制造方法,该电沉积磨具具有利用镀层固定了磨粒的磨具部。
技术介绍
在以LED等为代表的光器件的制造中,多使用机械/热特性和化学稳定性优异的蓝宝石基板。对于构成光器件的形成有各种功能膜的蓝宝石基板,例如利用通过电沉积而形成的环状的刀具(电沉积磨具)进行切削,并分割成多个光器件(例如,参照专利文献1)。专利文献1:日本特开2005-64230号公报但是,在通过电沉积而形成的上述那样的刀具中,磨粒被由镍等构成的镀层较强地固定。因此,当对蓝宝石基板那样的难切削材料进行切削时,产生了如下的问题:很难产生旧的磨粒脱落而新的磨粒露出的所谓的自锐性,不能充分地发挥刀具的加工能力。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该问题点而完成的,其目的在于提供电沉积磨具的制造方法,在对蓝宝石基板那样的难切削材料进行加工的情况下也能够产生适当的自锐性。根据本专利技术的一个方式,提供一种电沉积磨具的制造方法,其特征在于,该电沉积磨具的制造方法具有如下的工序:磨具部形成工序,在由包含铝在内的材料形成的环状的基台上形成由多孔性构造的镀层和分散在该镀层中的磨粒构成 ...
【技术保护点】
一种电沉积磨具的制造方法,其特征在于,该电沉积磨具的制造方法具有如下的工序:磨具部形成工序,在由包含铝在内的材料形成的环状的基台上形成由多孔性构造的镀层和分散在该镀层中的磨粒构成的磨具部;基台去除工序,使药液作用于与该磨具部重叠的该基台的一部分而将该基台的一部分去除;以及保护层形成工序,在该磨具部形成工序之前,在该基台的表面上形成保护层,该保护层用于保护该基台不受通过了该镀层的该药液影响。
【技术特征摘要】
2015.11.10 JP 2015-2207691.一种电沉积磨具的制造方法,其特征在于,该电沉积磨具的制造方法具有如下的工序:磨具部形成工序,在由包含铝在内的材料形成的环状的基台上形成由多孔性构造的镀层和分散在该镀层中的磨粒构成的磨具部;基台去除工序,使药液作用于与该磨具部重叠的该基台的一部分而将该基台的一部分去除;以及保护层形成工序,在该磨具部形成工序之前,在该基台的表面上形成保护层,该保护层用于保护该基台不受通过了该镀层的该药液影响。2.根据权利要求1所述的电沉积磨具的制造方法,其特征在于,在所述磨具部形成工序中,使所述基台和镍电极浸入到混入了用于使所述镀层成为多...
【专利技术属性】
技术研发人员:关龙也,片山壮一,
申请(专利权)人:株式会社迪思科,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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