一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统技术方案

一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置；反应装置包括第二除尘器；第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管；第四进气管竖向设置，其底部位于集尘管内，其顶部贯穿于集尘管的顶部；第四进气管的底部设有气体分布器，位于气体分布器的上方设有气体扰流板；第二排污管设于集尘管的底部；氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接，氮气回收装置连接于精馏塔和反应装置之间；本实用新型专利技术根据上述内容提出一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其能够稳定回收氮气，除尘效果好，四氟化碳纯化效果理想。

Four carbon dioxide purification system with nitrogen recovery function

Purification system for four carbon fluoride with nitrogen recycling function, including fluorine source, reaction device, washing tower, alkali washing tower, distillation column and nitrogen recovery device; reaction device comprises second dust collector; dust remover comprises second dust tube, second sewage pipe and fourth intake pipe; fourth intake pipe is vertically arranged, the located at the bottom of dust collecting tube, the top throughout the top set of dust pipe; fourth inlet pipe is arranged at the bottom of the gas distributor, a gas spoiler is located above the gas distributor; second sewage pipes are arranged on the bottom of the dust collecting tube; fluorine source, reaction device, water tower, washing tower and distillation tower are connected in turn, nitrogen the recovery device is connected between the distillation tower and reaction device; the utility model provides a purification system with four fluorinated carbon nitrogen recycling function according to the above content, it can be stable The utility model has the advantages of nitrogen recovery and good dust removing effect, and the purifying effect of four carbon fluoride is ideal.

【技术实现步骤摘要】
一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统
本技术涉及气体纯化领域，尤其涉及一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统。
技术介绍
四氟化碳是目前微电子工业中重要的等离子体蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。四氟化碳合成方法很多，包括氢氟化碳与氟气、氯氟化碳在催化剂存在下与氟化氢以及氟气与碳源直接接触反应制备四氟化碳等。其中，目前成熟工艺采用氢氟化碳、氯氟化碳做碳源制备四氟化碳，原材料价格昂贵，易发生爆炸，且合成产物中有不易去除的杂质；氟碳直接接触反应法制备四氟化碳，该方法经过不断的发展与完善，已能够制备出四氟化碳。但是，现有的四氟化碳纯化系统的纯化效果不高，除尘效果并不理想，不能很好地回收利用作为精馏塔冷媒的液氮，不利于四氟化碳的制备。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其能够稳定的回收利用精馏塔中作为冷媒的液氮，并能在回收液氮时把水与液氮进行热交换，将得到的冷却水用在四氟化碳的制备过程中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置；其特征在于：所述反应装置包括第二除尘器；所述第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管；所述第四进气管竖向设置，其底部位于所述集尘管内，其顶部贯穿于所述集尘管的顶部；所述第四进气管的底部设有气体分布器，位于所述气体分布器的上方设有气体扰流板；所述第二排污管设于所述集尘管的底部；所述氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接，所述氮气回收装置连接于所述精馏塔和反应装置之间；所述氮气回收装置用于将所述精馏塔中作为冷媒的液氮回收，并利用液氮回收时汽化吸热的原理与输入至所述氮气回收装置的水进行热...

【技术特征摘要】
1.一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置；其特征在于：所述反应装置包括第二除尘器；所述第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管；所述第四进气管竖向设置，其底部位于所述集尘管内，其顶部贯穿于所述集尘管的顶部；所述第四进气管的底部设有气体分布器，位于所述气体分布器的上方设有气体扰流板；所述第二排污管设于所述集尘管的底部；所述氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接，所述氮气回收装置连接于所述精馏塔和反应装置之间；所述氮气回收装置用于将所述精馏塔中作为冷媒的液氮回收，并利用液氮回收时汽化吸热的原理与输入至所述氮气回收装置的水进行热交换，并将换热后的冷却水输出至所述反应装置，将氮气重新回收至所述精馏塔和反应装置。2.根据权利要求1所述的一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其特征在于：所述纯化系统还包括缓冲气袋、冷却器、低压吸附器、加压吸附器和充装器；所述氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、缓冲气袋、冷却器、低压吸附器、加压吸附器、精馏塔和充装器依次连接。3.根据权利要求2所述的一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其特征在于：所述氮气回收装置包括换热系统、氮气缓冲系统、备用水路和备用气路；所述换热系统设置有氮路输入端、氮路输出端、水路输入端和水路输出端，氮气自所述氮路输入端经过所述换热系统由所述氮路输出端输出至所述氮气缓冲系统，水自所述水路输入端经过所述换热系统由所述水路输出端输出；所述换热系统的氮路输出端、水路输出端、氮路输入端和水路输入端均设有阀门；所述备用水路的输入端和输出端分别连接于所述换热系统的水路输入端和水路输出端；所述备用气路的输入端和输出端分别连接于所述换热系统的氮路输入端和所述氮气缓冲系统的输入端；所述备用水路和所述备用气路均设有备用阀门；换热系统还包括循环水池和循环水泵。4.根据权利要求3所述的一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其特征在于：所述换热系统包括两级串联的换热设备，第一级换热设备为水浴式汽化器，第二级换热设备为板式换热器；所述水浴式汽化器的数量为二，所述板式换热器的数量为一；两个所述水浴式汽化器组成水浴式汽化器组，所述水浴式汽化器组的水浴式水路输出端连接于所述板式换热器的板式水路输入端；所述水浴式水路输出端和板式水路输入端分别设有所述阀门；所述备用水路分为第一备用水路和第二备用水路；所述第一备用水路和第二备用水路均设有所述备用阀门；所述第一备用水路的输入端连接于所述换热系统的水路输入端；所述第一备用水路的输出端分别与所述水浴式水路输出端、第二备用水路的输入端和板式水路输入端连接；所述第二备用水路的输出端连接于所述换热系统的水路输出端；所述备用气路分为第一备用气路和第二备用气路，且分别设有所述备用阀门；所述第一备用气路和第二备用气路的输入端均连接于所述换热系统的氮路输入端；所述第一备用气路和第二备用气路的输出端均连接于所述氮气缓冲系统的输入端；氮气回收装置还包括辅助气路，其设有备用阀门；所述辅助气路的输入端分别连接于所述第一备用气路的输出端、第二备用气路的输出端和氮气缓冲系统的输入端；所述辅助气路的输出端连接于所述板式换热器；所述氮气缓冲系统包括第一氮气缓冲罐和第二氮气缓冲罐；所述第一氮气缓冲罐的输出端连接于所述第二氮气缓冲罐的输入端；所述第一氮气缓冲罐和第二氮气缓冲罐之间设有增压机，所述第二氮气缓冲罐的输出端连接于所述精馏塔。5.根据权利要求4所述的一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其特征在于：所述反应装置包括第一反应器和第二反应器；所述第一反应器包括第一除尘器，所述第二反应器包括第二除尘器；所述第一反应器还包括第一料仓管、预热管和反应管；所述第一料仓管的底部设有喇叭状的扩容管，所述扩容管由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄；所述第一料仓管、...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖恒易，肖三，傅铸红，
申请(专利权)人：广东华特气体股份有限公司，江西华特电子化学品有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44