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一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置；反应装置包括第二除尘器；第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管；第四进气管竖向设置，其底部位于集尘管内，其顶部贯穿于集尘管的顶部；第四...该专利属于广东华特气体股份有限公司;江西华特电子化学品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东华特气体股份有限公司;江西华特电子化学品有限公司授权不得商用。