电子源器件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种电子源器件，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、射频线圈、绝缘电离腔体和正离子收集极。射频感抗匹配网络连接射频电源和射频线圈，绝缘电离腔体罩设于正离子收集极，且与正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体开设有发射孔，起辉维持极开设有与发射孔对应的通孔；正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通进气通道和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔，射频线圈套设于绝缘电离腔体外侧。将射频电源作为电子源器件的驱动电源，无需灯丝加热，无耗材，工作时间超过1000小时以上，且对散热要求低，提高了电子源器件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
电子源器件
本技术涉及真空加工
，特别是涉及一种电子源器件。
技术介绍
电子源器件普遍应用在真空加工领域，其主要作用是在真空环境中产生持续的自由电子。经过一系列的电场磁场作用控制电子空间分布，高能电子与物体作用能产生巨大的热能，对材料表面进行包括熔解在内的热处理。电子源能使真空环境处于电子云状态，有效中和空间的正电荷，防止正电荷导致的打火放电。传统的电子源器件是通过在灯丝两端加上数伏电压，产生10A以上的电流。电流产生的高温使金属表面能产生大量自由电子。通过对灯丝加热产生高温，连续工作数小时灯丝就烧断，传统的电子源器件存在使用寿命短的缺点。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述问题，提供一种可提高使用寿命的电子源器件。一种电子源器件，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、射频线圈、绝缘电离腔体和正离子收集极，所述射频感抗匹配网络连接所述射频电源和所述射频线圈，所述绝缘电离腔体罩设于所述正离子收集极，且与所述正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；所述绝缘电离腔体开设有发射孔，所述起辉维持极开设有与所述发射孔对应的通孔；所述正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通所述进气通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子源器件，其特征在于，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、射频线圈、绝缘电离腔体和正离子收集极，所述射频感抗匹配网络连接所述射频电源和所述射频线圈，所述绝缘电离腔体罩设于所述正离子收集极，且与所述正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；所述绝缘电离腔体开设有发射孔，所述起辉维持极开设有与所述发射孔对应的通孔；所述正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通所述进气通道和所述绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔，所述射频线圈套设于所述绝缘电离腔体外侧。

【技术特征摘要】
1.一种电子源器件，其特征在于，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、射频线圈、绝缘电离腔体和正离子收集极，所述射频感抗匹配网络连接所述射频电源和所述射频线圈，所述绝缘电离腔体罩设于所述正离子收集极，且与所述正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；所述绝缘电离腔体开设有发射孔，所述起辉维持极开设有与所述发射孔对应的通孔；所述正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通所述进气通道和所述绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔，所述射频线圈套设于所述绝缘电离腔体外侧。2.根据权利要求1所述的电子源器件，其特征在于，所述正离子收集极包括底座和凸出设置于所述底座的突出部，所述进气通道贯穿所述底座和所述突出部，所述突出部开设有连通所述进气通道和所述绝缘电离腔室之间的所述惰性气体供气孔。3.根据权利要求2所述的电子源器件，其特征在于，所述惰性气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟基，
申请(专利权)人：中山市博顿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44