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本实用新型涉及一种电子源器件，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、射频线圈、绝缘电离腔体和正离子收集极。射频感抗匹配网络连接射频电源和射频线圈，绝缘电离腔体罩设于正离子收集极，且与正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体开设有...
该专利属于中山市博顿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

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