光阻烘烤设备制造技术

本发明专利技术提供了一种光阻烘烤设备，包括箱体，箱体内分别设有加热温度不同的第一烘烤区和第二烘烤区，在第一烘烤区和第二烘烤区之间设有竖向设置的第一隔板，第一烘烤区与第二烘烤区内分别设有至少二个加热器；在箱体的下部位于第一烘烤区处设有玻璃放置口，箱体的下部位于第二烘烤区处设有与玻璃放置口位置相对应的玻璃取出口，第一烘烤区以及第二烘烤区分别设有第一传送机构、第二传送机构，在第一传送机构与第二传送机构上分别设有多排用于固定玻璃支架的传送架，第一传送机构与第二传送机构之间的上下两端后侧分别设有输送机构。与现有技术相比，通过局部不同区域进行温度控制，达到平坦层光阻所需的熔体流动的时间延长，提升平坦层的平坦度。

Photoresist baking equipment

The present invention provides a photoresist baking equipment, which comprises a box body, the box body are respectively provided with different heating temperature first baking zone and second baking zone is provided with a first baffle arranged between the first and second baking baking zone area, the first area and the second area baking baking is respectively provided with at least two heater in the box; the first area is arranged at the lower part in baking glass placed in the lower part of the box body, is located in the second district is provided with a baking and glass is arranged in the position corresponding to the glass outlet, the first baking area and second baking zone are respectively provided with a first transmission mechanism and the second transmission mechanism in the first transmission mechanism and transmission mechanism are respectively arranged on the second row for the transmission frame is fixed between the first glass frame, transmission mechanism and the second transmission mechanism of the upper and lower ends are respectively provided with a rear conveying mechanism. Compared with the prior art, the temperature control of the different regions is adopted to prolong the time of the melt flow required for the smooth layer photoresist, and to improve the flatness of the flat layer.

【技术实现步骤摘要】
光阻烘烤设备
本专利技术涉及一种液晶面板生产技术，特别是一种用光阻烘烤设备。
技术介绍
现阶段液晶显示业ColorFilter(CF彩膜)制程中，有一道制程相对比较重要，即OverCoat(OC平坦层)制程，简称OC制程，该制程作用为隔绝有金属元素的RGB，防止污染液晶，以及作为平坦层使液晶排布更均匀，显示效果更佳，该制程和其他黄光制程不同，整面存留，无需进行曝光显影过程，制程相对比较简单，整个制作过程只有基板清洗，涂布、真空干燥和烘烤过程，其中烘烤分为预烘烤和后烘烤。预烘烤为使用热板接触式烘烤，温度低于后烘烤装置，仅起到初步固化作业，减少后烘烤部分化学质析出，由于单片腔式(单片所占空间较大)烘烤，为满足整条产线的节拍，实际烘烤时间较短，实际功能性较低。后烘烤为热风烘烤炉，实际烘烤温度较高(为了使光阻彻底固化，且将大部分无用化学物质析出)，由于使用CenterFork形式(单片所占空间较小)，可以大批量烘烤，烘烤时间可以很长，而且OC制程最重要的制程参数——平坦度，主要影响的是光阻熔体流动(MeltFlow)阶段，OC的光阻在一定温度后会软化具有流动性，在固化温度前，光阻都会具有一定流动效应，以现有的预烘烤和后烘烤装置，制程只能设定一个温度，所有玻璃进出后按同一升温曲线进行，相对的MeltFlow时间很短，无法达到预期要求，从常温加热至指定温度非常快，均无法达到平坦层流平所需的MeltFlow时间需求。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本专利技术提供一种光阻烘烤设备，从而提高平坦层的平坦度。本专利技术提供了一种光阻烘烤设备，包括箱体，所述箱体内分别设有加热温度不同的第一烘烤区和第二烘烤区，在第一烘烤区和第二烘烤区之间设有竖向设置的第一隔板，所述第一烘烤区与第二烘烤区内分别设有至少二个加热器，所述第一烘烤区的加热温度从下至上逐步升高，第二烘烤区的加热温度从上至下逐步升高；在箱体的下部位于第一烘烤区处设有玻璃放置口，箱体的下部位于第二烘烤区处设有与玻璃放置口位置相对应的玻璃取出口，所述第一烘烤区以及第二烘烤区分别设有可带动玻璃支架垂直上升或下降的第一传送机构、第二传送机构，在第一传送机构与第二传送机构上分别设有多排用于固定玻璃支架的传送架，传送架分别与玻璃放置口以及玻璃取出口相对，所述第一传送机构与第二传送机构之间的上下两端后侧分别设有输送机构，所述输送机构用于将第一烘烤区的玻璃支架输送至第二烘烤区或将第二烘烤区内的玻璃支架输送至第一烘烤区，在第一隔板上位于输送机构处设有输送口。进一步地，每排传送架包括至少两个开口与玻璃支架相对并且水平设置的C型支架，在C型支架开口的上下两端分别设有相对设置的滚筒导轨，所述滚筒导轨分别穿过每一个C型支架的开口，在上下两个滚筒导轨之间形成用于与玻璃支架卡接的卡接部，至少一个滚筒导轨上的滚筒连接第二电机，第二电机驱动滚筒将玻璃支架7输送至输送机构中。进一步地，所述第一传送机构以及第二传送机构为链条传动，包括设于第一烘烤区和第二烘烤区上下其中一端的电机、设于电机输出轴上的主动齿轮以及设于第一烘烤区和第二烘烤区另一端的从动齿轮，在主动齿轮与从动齿轮上套有与其啮合的O形链条，传送架均匀分布固定在O形链条的表面上。进一步地，所述输送机构包括动力式滚筒输送机，动力式滚筒输送机与设置在C型支架开口下端的滚筒导轨设于同一水平面上。进一步地，所述传送架中与输送机构相邻的C型支架的开口中设有可封闭或开启该C型支架开口的拨杆。进一步地，所述C型支架上位于拨杆处设有气动阀。进一步地，所述第一传送机构和第二传送机构的上下两端分别设有用于控制气动阀复动以及第二电机启动的传感单元。进一步地，所述第一烘烤区内设有水平设置的第二隔板，第二隔板将第一烘烤区划分为多个温度不同的第一烘烤子区，每个第一烘烤子区中对应设置一个加热器，第二隔板上设有第一玻璃支架出入口；所述第二烘烤区内设有水平设置的第三隔板，第三隔板将第二烘烤区划分为多个温度不同的第二烘烤子区，每个第二烘烤子区中对应设置一个加热器，第三隔板上设有第二玻璃支架出入口。进一步地，所述第二隔板以及第三隔板分别设有两块，两块第二隔板将第一烘烤区划分为3个第一烘烤子区；两块第三隔板将第二烘烤区划分为3个第二烘烤子区。进一步地，所述输送机构还包括与动力式滚筒输送机相对设置的滚筒输送机，滚筒输送机与设置在C型支架开口上端的滚筒导轨设于同一水平面上，在动力式滚筒输送机与滚筒输送机之间设有供玻璃支架经过的通道。本专利技术与现有技术相比，通过将预烘烤以及后烘烤装置集成在一起，并通过对局部不同的区域进行温度控制，达到平坦层光阻所需的熔体流动的时间延长，从而提升平坦层的平坦度。附图说明图1-1是本专利技术的内部结构示意图一；图1-2是本专利技术的内部结构示意图二；图2-1是本专利技术第一传送机构以及第二传送机构的结构示意图一；图2-2是本专利技术第一传送机构以及第二传送机构的结构示意图二；图3是本专利技术传送架的结构示意图；图4是本专利技术玻璃支架运动方向的示意图；图5是本专利技术C型支架的内部结构示意图；图6是本专利技术玻璃支架的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步详细说明。如图1-1和图1-2所示，本专利技术的一种光阻烘烤设备，包括一个箱体1，箱体1内分别设有加热温度不同的第一烘烤区2和第二烘烤区3，其中第一烘烤区2为预烘烤区，第二烘烤区3为后烘烤区；在第一烘烤区2和第二烘烤区3之间设有竖向设置的第一隔板19，第一隔板19用于将两个烘烤区进行隔离，防止温度相互串扰；所述第一烘烤区2与第二烘烤区3内分别设有至少二个加热器4，此处加热器4设置有至少三个，从而使第一烘烤区2的加热温度从下至上逐步升高，第二烘烤区3的加热温度从上之下逐步升高，实现烘烤设备中两个烘烤区的温度逐步提升；在箱体1的下部位于第一烘烤区2处设有玻璃放置口5，玻璃放置口5的长度以及宽度大于玻璃支架7的长度以及高度；箱体1的下部位于第二烘烤区处设有与玻璃放置口5位置相对应的玻璃取出口6，玻璃取出口6的长度以及宽度与玻璃放置口5的长度以及宽度相同；所述第一烘烤区2以及第二烘烤区3分别设有可带动玻璃支架7垂直上升或下降的第一传送机构、第二传送机构，所述第一传送机构与第二传送机构的运动方向相反，其中，第一传送机构的运动方向为从下至上，第二传送机构的运动方向为从上之下，这样能够实现玻璃支架在第一烘烤区2和第二烘烤区3中循环，在箱体1外还设有为加热器4、第一传送机构、第二传送机构以及输送机构供电的电源30。在第一传送机构与第二传送机构上分别设有多排用于固定玻璃支架7的传送架8，传送架8分别与玻璃放置口5以及玻璃取出口6相对，所述第一传送机构与第二传送机构之间的上下两端后侧分别设有运动方向相反的输送机构，所述输送机构用于将第一烘烤区2的玻璃支架7输送至第二烘烤区3或将第二烘烤区3内的玻璃支架7输送至第一烘烤区2，在第一隔板19上位于输送机构处设有输送口21，输送口21的长度和宽度大于玻璃支架7的长度以及高度。放入光阻烘烤设备中的玻璃均放置在玻璃支架7上，玻璃支架7采用如图6所示的结构实现，其为叉子状，包括用于与传送架8相互卡接的横杆71以及设置在横杆71上的多根支臂72，支臂72上形成玻璃放置平台。如图1-1所示，为了能够对第一烘烤区2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光阻烘烤设备，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内分别设有加热温度不同的第一烘烤区(2)和第二烘烤区(3)，在第一烘烤区(2)和第二烘烤区(3)之间设有竖向设置的第一隔板(19)，所述第一烘烤区(2)与第二烘烤区(3)内分别设有至少二个加热器(4)，所述第一烘烤区(2)的加热温度从下至上逐步升高，第二烘烤区(3)的加热温度从上至下逐步升高；在箱体(1)的下部位于第一烘烤区(2)处设有玻璃放置口(5)，箱体(1)的下部位于第二烘烤区(3)处设有与玻璃放置口(5)位置相对应的玻璃取出口(6)，所述第一烘烤区(2)以及第二烘烤区(3)分别设有可带动玻璃支架(7)垂直上升或下降的第一传送机构、第二传送机构，在第一传送机构与第二传送机构上分别设有多排用于固定玻璃支架(7)的传送架(8)，传送架(8)分别与玻璃放置口(5)以及玻璃取出口(6)相对，所述第一传送机构与第二传送机构之间的上下两端后侧分别设有输送机构，所述输送机构用于将第一烘烤区(2)的玻璃支架(7)输送至第二烘烤区(3)或将第二烘烤区(3)内的玻璃支架(7)输送至第一烘烤区(2)，在第一隔板(19)上位于输送机构处设有输送口(21)。...

【技术特征摘要】
1.一种光阻烘烤设备，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内分别设有加热温度不同的第一烘烤区(2)和第二烘烤区(3)，在第一烘烤区(2)和第二烘烤区(3)之间设有竖向设置的第一隔板(19)，所述第一烘烤区(2)与第二烘烤区(3)内分别设有至少二个加热器(4)，所述第一烘烤区(2)的加热温度从下至上逐步升高，第二烘烤区(3)的加热温度从上至下逐步升高；在箱体(1)的下部位于第一烘烤区(2)处设有玻璃放置口(5)，箱体(1)的下部位于第二烘烤区(3)处设有与玻璃放置口(5)位置相对应的玻璃取出口(6)，所述第一烘烤区(2)以及第二烘烤区(3)分别设有可带动玻璃支架(7)垂直上升或下降的第一传送机构、第二传送机构，在第一传送机构与第二传送机构上分别设有多排用于固定玻璃支架(7)的传送架(8)，传送架(8)分别与玻璃放置口(5)以及玻璃取出口(6)相对，所述第一传送机构与第二传送机构之间的上下两端后侧分别设有输送机构，所述输送机构用于将第一烘烤区(2)的玻璃支架(7)输送至第二烘烤区(3)或将第二烘烤区(3)内的玻璃支架(7)输送至第一烘烤区(2)，在第一隔板(19)上位于输送机构处设有输送口(21)。2.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于：每排传送架(8)包括至少两个开口与玻璃支架(7)相对并且水平设置的C型支架(9)，在C型支架(9)开口的上下两端分别设有相对设置的滚筒导轨(10)，所述滚筒导轨(10)分别穿过每一个C型支架(9)的开口，在上下两个滚筒导轨(10)之间形成用于与玻璃支架(7)卡接的卡接部(11)，至少一个滚筒导轨(10)上的滚筒连接有第二电机(31)，第二电机(31)驱动滚筒将玻璃支架(7)输送至输送机构中。3.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述第一传送机构以及第二传送机构为链条传动，包括设于第一烘烤区(2)和第二烘烤区(3)上下其中一端的电机(12)、设于电机(12)输出轴上的主动齿轮(13)以及设于第一烘烤区(2)和第二烘烤区(3)另一端的从动齿轮(14)，在主动齿轮(13)与从...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐彬，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42