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本发明提供了一种光阻烘烤设备，包括箱体，箱体内分别设有加热温度不同的第一烘烤区和第二烘烤区，在第一烘烤区和第二烘烤区之间设有竖向设置的第一隔板，第一烘烤区与第二烘烤区内分别设有至少二个加热器；在箱体的下部位于第一烘烤区处设有玻璃放置口，箱体...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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