化学药液供给系统和供给方法技术方案

本发明专利技术提供一种化学药液供给系统，包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路；原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽；输送泵和流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；暂存槽的原液出口管路上设有阀门；本发明专利技术不仅可以避免在输送药液的过程中吸入空气造成药液混合比例不准确，而且可以提高药液使用率，从而降低成本。

Chemical liquid supply system and supply method

The invention provides a chemical liquid supply system, including: the liquid supply mechanism of liquid mixing tank and at least two connected liquid mixing tank; the liquid supply mechanism comprises a liquid tank, a liquid pumping pipe, liquid conveying pipe, pump, flow meter, temporary solution tank, outlet pipe; liquid barrel is provided with a liquid pipe. Pump end of the liquid pipe connection liquid conveying pipe end, liquid conveying pipe connected to the other end of the temporary tank; pump and flowmeter installed in the liquid conveying pipeline; buffer groove is used for measuring parts measuring liquid medicine amount of buffer groove; the bottom groove is connected with a liquid mixing tank through a temporary solution outlet pipe valve is provided with liquid outlet; the line buffer groove; the invention not only can be avoided in the process of conveying liquid in the air inhaled by the liquid mixing ratio is not accurate, but also can improve The use rate of the liquid medicine, thus reducing the cost.

【技术实现步骤摘要】
化学药液供给系统和供给方法
本专利技术涉及半导体
，尤其是一种化学药液供给系统。
技术介绍
半导体行业需要用到很多的化学溶液，大多属于强酸、强碱或强腐蚀性的溶液。出于安全和生产的需求，往往采用供液系统进行药液的输送或混合后再输送。尤其使用的药液是混合溶液时，需要将多种药液从药液桶或储液桶等中抽取出来送入混合液储存槽中进行药液混合。但是当药液桶中液位较低时，各路药液有可能会在抽取药液的过程中吸入空气，使得混液结果不准确，从而导致生产工艺出错。有时为了防止液位较低吸入空气，往往在液位较高时就需更换新药液桶，造成药液的浪费，增加成本。本公司先前的一种化学药液供给系统如图1所示，包括药液A的原液桶11、药液B的原液桶21、药液混合槽31；药液A的原液桶11旁近原液桶11底部设有原液桶液位传感器10，原液桶11中设有抽液管12，抽液管12的上端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接输送泵14，流量计13安装在原液输送管路上；输送泵14通过原液出口管路15连接药液混合槽31；在药液混合槽31旁装有至少两个混合槽液位传感器30，分别靠近药液混合槽顶部和底部，用于分别监测药液混合槽31本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学药液供给系统，其特征在于，包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路；原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽；输送泵和流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；暂存槽的原液出口管路上设有阀门；药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液...

【技术特征摘要】
1.一种化学药液供给系统，其特征在于，包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路；原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽；输送泵和流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；暂存槽的原液出口管路上设有阀门；药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路。2.如权利要求1所述的化学药液供给系统，其特征在于，原液输送管路的另一端连接暂存槽顶部。3.如权利要求1所述的化学药液供给系统，其特征在于，暂存槽顶部设有空气进口。4.如权利要求1所述的化学药液供给系统，其特征在于，暂存槽下部分的横截面小于上部分的横截面。5.一种化学药液供给方法，其特征在于，通过一种化学药液供给系统实施，所述化学药液供给系统包括药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路；原液桶中设有抽液管，抽液管的上端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽顶部；输送泵和流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；暂存槽顶部设有空气进口；暂存槽的原液出口管路上设有阀门；药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路；按照所需比例设定各药液的抽液量，然后开始从各原液桶中进行抽液，药液抽取采用等量原则，需要多少抽多少；在各路药液供给机构中先将所抽取的药液打入各自的暂存槽中；当某一路的流量计检测到该路所需药液量已经满足要求，则该路停止抽液；当各路抽取的药液量都满足要求时，各原液输送管路上的输送泵都停止工作；然后各暂存槽对泵入的药液量进行检测，若发现暂存槽中的药液量与所需药液量存在偏差，则给出警报，要求继续从原液桶中抽取药液至暂存槽直至该暂存槽中药液量等于所需药液量；然后打开原液出口管路上的阀门，通过各暂存槽顶部的空气进口通入压缩空气，压缩空气对暂存槽中药液的输送形成一个正压力，将各暂存槽中的药液全部送入药液混合槽中；当把各路暂存槽的药液都送入药液混合槽后，循环泵开始工作，让药液通过循环管路循环流动，在药液混合槽中充分混合，充分混合后的药液通过混合液出口管路送出。6.一种化学药液供给系统，其特征在于，包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李春，黄荣燕，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32