压电压力传感器和用于制造这种压力传感器的方法技术
【技术实现步骤摘要】
压电压力传感器和用于制造这种压力传感器的方法
本专利技术涉及一种压电压力传感器和一种用于制造这种压力传感器的方法。
技术介绍
压电接收器在许多地方在传感器中被应用于采集压力、力、加速度、应变、力矩等。因此，利用压电压力传感器，在指示内燃机压力时，取决于曲轴姿态或时间来采集作用在压力室中的气缸压力。内燃机包括四冲程发动机和二冲程发动机，例如汽油发动机、柴油发动机、转子发动机等。在船用柴油机中，利用这些压电压力传感器来执行长时间监控气缸压力。但是，压电压力传感器也可使用在喷气式发动机、燃气涡轮机、蒸汽涡轮机、蒸汽机等的压力监控中。为了制造压电接收器，经常使用压电晶体材料。压电晶体材料在结晶学上被这样定向地切割，使得其具有对待接收的力的高灵敏性。在力的作用下，在压电晶体材料的表面上产生电极化电荷。电极化电荷的数量与起作用的力的大小成比例。文献CH392103A1示出一种压电压力传感器，其具有膜片，该膜片以边缘部分焊接在壳体的一端部上。在使用中，膜片和壳体保护压电接收器不受过量温度峰值的影响。压电接收器在壳体中设置在膜片之后。由膜片所采集到的力沿压电压力传感器的纵向方向作...
【技术保护点】
一种压电压力传感器(1)，具有：采集力膜片(21)；压电接收器(22)，在所述压电接收器上，所采集到的力产生电极化电荷；电极(25)，所述电极取走所产生的电极化电荷并通过电荷引出部(311)引出；其特征在于，所述电极(25)具有电荷拾取部(251)和至少一个电极条(252)；所述电荷拾取部(251)被设置为平行于所述压电接收器(22)的端面(2231)，力作用到所述端面(2231)上；并且，所述电极条(252)局部地材料配合地与所述电荷引出部(311)连接。
【技术特征摘要】
2015.12.03 EP 151978641.一种压电压力传感器(1)，具有：采集力膜片(21)；压电接收器(22)，在所述压电接收器上，所采集到的力产生电极化电荷；电极(25)，所述电极取走所产生的电极化电荷并通过电荷引出部(311)引出；其特征在于，所述电极(25)具有电荷拾取部(251)和至少一个电极条(252)；所述电荷拾取部(251)被设置为平行于所述压电接收器(22)的端面(2231)，力作用到所述端面(2231)上；并且，所述电极条(252)局部地材料配合地与所述电荷引出部(311)连接。2.根据权利要求1所述的压电压力传感器(1)，其特征在于，所述电荷拾取部(251)和所述电极条(252)基本上设置在一电极平面(BC)中；或所述电荷拾取部(251)和所述电极条(252)基本上设置在一电极平面(BC)中，该电极平面(BC)平行于所述压电接收器(22)的端面(2231)。3.根据权利要求2所述的压电压力传感器(1)，其特征在于，只要所述电极条(252)不与所述电荷引出部(311)材料配合地连接，那么所述电极条(252)能够可逆地偏移出所述电极平面(BC)；或只要所述电极条(252)不与所述电荷引出部(311)材料配合地连接，那么所述电极条(252)能够通过所述电极(25)的材料的弹性变形可逆地偏移出所述电极平面(BC)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电压力传感器(1)，其特征在于，所述电极(25)是薄膜状的；所述电极(25)具有小于/等于200μm、优选小于/等于20μm的厚度。5.根据权利要求1至4中任一项所述的压电压力传感器(1)，其特征在于，所述电极条(251)机械地基本上无应力地与所述电荷引出部(311)连接。6.根据权利要求1至5中任一项所述的压电压力传感器(1)，其特征在于，所述电极条(252)穿过抗应变套管(231)的电极开口(2311)伸出。7.根据权利要求1至7中任一项所述的压电压力传感器(1)，其特征在于，所述电极条(252)在外端部(2522)上具有接触面；所述电极条(252)的接触面能从所述抗应变套管(231)之外接近。8.根据权利要求1至7中任一项所述的压电压力传感器(1)，其特征在于，多个电极条(251)与所述电荷引出部(311)材料配合地连接并且将电极化电荷冗余地引向所述电荷引出部(311)。9.一种用于制造根据权利要求1至8中任一项所述的压电压力传感器(1)的方法，其特征在于，将抗应变套管(231)沿着纵轴线(A...
【专利技术属性】
技术研发人员：S·布伦纳，M·黑夫纳，
申请(专利权)人：基斯特勒控股公司，
类型：发明
国别省市：瑞士,CH
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